2023-04-05Thin-film Deposition System for the Fabrication of Superconducting Quantum Devices (Lehrstuhl für Experimentalphysik (Prof. Eichler))
Die Herstellung supraleitender Schaltkreise basiert grundlegend auf der Möglichkeit supraleitende Dünnschichten unter hochreinen Bedingungen auf Trägermaterialen wie Silizium aufzubringen und auf Mikro- und Nanometerskalen zu strukturieren.
Die Materialqualität dieser Schichten ist dabei ein entscheidender Faktor, um die quantenmechanischen Kohärenzeigenschaften mit hoher Güte zu gewährleisten.
Die hier anzuschaffende Elektronenstrahlbedampfungsanlage soll die Herstellung eben solcher supraleitender …
Ansicht der Beschaffung »