Jüngste Beschaffungen durch TU Ilmenau, Dezernat Planung und Haushalt
2011-11-04Siliziumtiefenätzsystem (TU Ilmenau, Dezernat Planung und Haushalt)
Kurzbeschreibung.
Vorbehaltlich einer endgültigen Förderzusage ist die Beschaffung eines flexibel einsetzbaren Siliziumtiefenätzsystems (Deep Reactive Ion Etching - DRIE) vorgesehen.
Das Siliziumtiefenätzsystem soll zur Herstellung von mikrotechnischen – insbesondere mikromechanischen Funktionsstrukturen – sowie zur Herstellung nanomechanischer und nanoelektronischer Systeme sowie zur wissenschaftlichen Untersuchung der Prozesswirkungskette in einer universitären Forschungseinrichtung eingesetzt …
Ansicht der Beschaffung »