2011-04-01Laservibrometer (Fraunhofer Gesellschaft e.V.)
Ein Messsystem zur zerstörungsfreien Charakterisierung der Bewegungen und bewegungsbedingten Verformungen mikromechanischer Bauelemente auf Siliziumbasis muss dabei an die charakteristischen Dimensionen der Untersuchungsobjekte im Bereich einiger Mikrometer bis wenige Millimeter und an die großen Geschwindigkeiten der Bewegung von bis zu 15 m/s und Frequenzen bis zu wenigen Megahertz angepasst sein. Die Messaufgabe schließt die zeitaufgelöste Aufzeichnung der Bewegung der Bauelemente an einzelnen …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Polytec GmbH