Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter Axcelis Technologies Inc. erwähnt wird
2011-04-28Implantationsanlage zur Dotierung von Halbleitern und anderen Materialien (Fraunhofer Gesellschaft e.V.)
Ionenimplantationsanlagen ermöglichen die Implantation einer Vielzahl von Elementen in Festkörper.
Aufgrund der Massenseparation werden nur die gewünschten Ionen mit entsprechendem Ladungszustand implantiert. Implantations-parameter, wie z.B. die Menge der Ionen (Dosis), die Implantationstiefe oder der Implantati-onswinkel können präzise kontrolliert werden. Die gewünschten Eigenschaften des implan-tierten Festkörpers, wie z.B. elektrische Leitfähigkeit, Ladungsträgermobilität, Härte oder dielektrische …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Axcelis Technologies Inc.