2014-07-29Optisches Topographiemesssystem (Fraunhofer Gesellschaft e. V.)
Optisches Topographiemessgerät zur hochaufgelösten schnellen Analyse mikromechanischer Strukturen
Das zu beschaffende optische Topographiemessgerät soll in der Lage sein Mikrospiegelarrays mit höchster Präzision und Geschwindigkeit zu vermessen. Dabei soll es in 2 Aufgabenbereichen eingesetzt werden. Der Schwerpunkt der ersten Messaufgabe „A“ besteht in der stichprobenartigen Charakterisierung von einzelnen oder wenigen Mikrospiegelaktuatoren mit einer Größe von etwa 4 x 4µm2. Insbesondere sollen hier …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Bruker AXS SAS