2020-08-18AOI Tool (Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.)
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e. V. schreibt ein automatisch arbeitendes optisches Messsystem zur Defektinspektion von mikrolithographisch hergestellten Strukturen auf Wafer bis 150 mm Durchmesser aus. Das Gerät soll in der Lage sein, vollautomatisch Strukturdefekte >=1,5 μm innerhalb dieser Chips zu erkennen, zu dokumentieren und in einer geeigneten Wafermap grafisch darzustellen als auch digital abzuspeichern, um sie an einen vorhandenen Waferprober zur elektrischen …
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2013-01-14Mikroskop mit automatischer Analysesoftware (Fraunhofer Gesellschaft e. V.)
Ein konfokales Mikroskop mit einer automatischen CD-Messmöglichkeit. Die zu
messenden Strukturen sind lithographisch erzeugte Lack- und anorganische
Strukturen wie z.B. Metallstrukturen (galvanisiert oder geätzt) im Bereich 1
µm bis mehrere hundert µm. Das Gerät muß Wafer in den Größen 100 mm, 150 mm
und 200 mm bearbeiten können. 300 mm soll hierbei als eine Option angeboten
werden. Als Akzeptanzkriterium sind Teststrukturen aus der Aufbau- und
Verbindungstechnik (electronic packaging). Das Gerät muss …
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