2021-05-06Max-Planck-Campus Garching: Neubau Halbleiterlabor: Prozessabwasser u. Reinstwasser (Max-Planck-Gesellschaft, GV, Stabsreferat EK)
Reinstwasser-/VE-Wassererzeugeranlage für die Bereitstellung von Reinstwasser nach SEMI-Standart (u. a 18 MOhm) für die Halbleiterindustrie sowie VE-Wasser (<10 μS/cm), bestehend aus folgenden Komponenten: Systemtrenstation, Mehrschichtfilteranlge (12 m/h) mit 150 %-iger Redundanz bestehend aus 3 Filtereinheiten, Doppelenthärtungsanlage (5,6 m/h) mit Solebehälter, redundanter (2x100%) Umkehrosmoseanlage (je 2,1 m/h) mit Membranentgasung, redundanter (2 x 100%) EDI (je 2,0 m/h), Reinstwassertanks (2 x 4 …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:EnviroDTS GmbH