Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter EpiServe GmbH erwähnt wird
2017-04-05RTP-Ofen für die Waferproduktion (Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe)
Die gesuchte Anlage soll einen InP-Wafer in kurzer Zeit auf hohe Temperaturen bringen und ihn schnell abkühlen. Üblich sind hier Lampenarays, die die Heizung übernehmen. Für die geforderten Abkühlraten wird eine Kühlposition notwendig sein, die automatisch nach Prozessende angefahren werden muss. Der hauptsächlich genutzte Temperaturbereich liegt zwischen 350°C und 650°C. Insgesamt sollte die Anlage aber den Bereich von 300°C bis 900°C abdecken. Um in der gleichen Anlage tempern und diffundieren zu …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:EpiServe GmbH