Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter Fabmatics GmbH erwähnt wird
2017-01-26Wafer-Boxenstocker (Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe)
Es wird eine Anlage benötigt, die Wafer für eine kurz- oder mittelfristige Lagerung aufnehmen kann. Die Wafer (Durchmesser 200 mm) sollen unter spezieller Umgebung gelagert werden. Die Lagerung wird durch ein internes Management ausgeübt und überwacht.
1. Parameter:
— internes Luftregime mindestens ISO- Klasse 4;
— Kapazität 200 Magazine;
— Sicherung gegen Stromausfall;
— ESD- Konformität;
— Für die spezifizierte Anlage gültige und lizenzierte Software;
— SECS-GEM-Schnittstelle mit Remote-Zugriff und …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Fabmatics GmbH