Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter Hitachi High-Technologie erwähnt wird
2012-08-20Critical Dimension Scanning Electron Microskop (Fraunhofer Gesellschaft e.V.)
Im Bereich Mikrosystemtechnik soll zur Inspektion und Prozesskontrolle ein hochauflösendes CDSEM eingesetzt werden.
Es sollen mikromechanische Strukturen verschiedener Materialen schnell und mit hoher Präzision vermessen werden.
Das Beladen des Geräts mit Wafern soll vollautomatisch mittels Wafercarriern erfolgen. Die Wafer sollen mit zuvor programmierten Messaufgaben vollautomatisch vermessen werden. Es kommen auch Gebrauchtgeräte in die Auswahl.
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