Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter Marquis erwähnt wird
2012-06-05Aufdampfanlage (Fraunhofer Gesellschaft e.V.)
Vakuumanlage zum Aufdampfen von Schichten verschiedener dielektrischer Materialien im Hochvakuum zwecks breitbandiger Ver- oder Entspiegelung von Laserfacetten mit folgenden Spezifikationen:
— Abmessungen:
—— nicht größer als 1 700 x 1 700 mm² (Breite x Tiefe),
— Pumpsystem:
—— Kryopumpensystem,
— Ausstattung der Prozesskammer:
—— Innenmaße mindestens 50 x 50 x 80 cm³,
—— Probengrößen bis zu ganzen 4“-Wafern,
—— Probenheizung o Ionenkanone für Pre-Clean (Argon) und reaktive Aufdampfprozesse,
—— …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Marquis