2012-06-27Beschaffung eines Sputterdepositionssystems (DFG-GZ: A 641) (Deutsche Forschungsgemeinschaft e.V., Zentrale Beschaffungsstelle)
Ein bestehender UHV-Cluster soll um ein konfokales Magnetron Sputtersystem mit 7 Kathoden erweitert werden. Die Verbindung zur zentralen Verteilereinheit des Clusters (Handlermodul) soll über eine Schleuse mit atmosphärenseitiger Belademöglichkeit (Load-Lock System) erfolgen. Es existieren standardisierte Probenhalter und Maskeneinheiten (Fläche 72 x 88 mm2). Es ist darauf zu achten, dass Schleuse und Sputterkammer die Kompatibilität zu beiden Einheiten wahren.
Schleuse:
— 4x DN 100 CF Port (1x …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Omicron Nano Technology GmbH