2015-09-01Gasquellen Molekularstrahepitaxianlage (Fraunhofer Gesellschaft e. V.)
Gasquellen Molekularstrahepitaxianlage:
Das Fraunhofer HHI stellt hochleistungsfähige opto-elektronische Halbleiterbauelemente auf Basis auf InP Substrat gitterangepasster Materialsysteme her. Hierbei bilden unteranderem quaternäre Kompositionen wie InGaAlAs oder InGaAsP eine wichtige Grundlage für komplizierte Bauelement-Heterostrukturen. Speziell für die letztgenannte quaternäre Materialkomposition ist ein Wachstumssystem mit Gasquellen für AsH3 und PH3 für die Gruppe-V Elemente die Methode der Wahl. …
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