Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter Semiconductor Support Services Co. erwähnt wird
2014-06-13Plasmaätzanlage Centura gebraucht mit 3 Kammern (Fraunhofer Gesellschaft e. V.)
Plasmaätzanlage Centura gebraucht mit 3 Kammern:
Gegenstand: automatische Anlage zur Entwicklung und Herstelung von CMOS- Halbleiterbauelementen im Bereich 0.8µm – 0.15µm, Kassette-zu- Kassette
Wafergröße: 200mm, SEMI, Kerbe
Anlagentyp: Mehrkammeranlage Typ AMAT Centura Hauptrahmen 1 oder 2
Konfiguration: eine MxP+ Ätzkammer
zwei super-e-Typ (oder neuere Generation) Siliziumoxid ätzkammern
GEM/SECS-Verbindung
Prozess: Ätzen von Isolationsgräben bis 0.8µm Breite und 3µm – 10µm Tiefe
Ätzen von Kontakten, …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Semiconductor Support Services Co.