Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter Sentech erwähnt wird
2012-05-14PECVD-Anlage (Fraunhofer Gesellschaft e.V.)
Eine ICP PECVD-Anlage mit einer vollautomatischen Transferstation und einer Vakuum-Kassettenstation für die Abscheidung von leitenden und dielektrischen Schichten auf Halbleiterscheiben. Für spezielle Anwendungen sollte es auch möglich sein, kurzfristig eine Glove-Box um die Vakuum-Kassettenstation anzubringen, um Scheiben in vollständiger Inertgasatmosphäre bearbeiten zu können. Weiterhin ist zu einem späteren Zeitpunkt geplant, an die Transferstation eine ALD-Kammer (atomic layer deposition) …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Sentech