2015-03-25Spin Spray Tool for Acid Cleaning Batch Processes (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
Bei den Maschinen handelt es sich um Systeme zur Reinigung von Silizium-Scheiben mit einem Durchmesser von 200 Millimetern. Das Prinzip des Reinigungsverfahrens soll das Sprühschleuder-Verfahren sein. Die Systeme sollen 25 Siliziumscheiben gleichzeitig bearbeiten können. Sie müssen in der Lage sein, Siliziumscheiben mit unterschiedlichen Reinigungs-Mixturen zu bearbeiten. Nach der Behandlung mit der entsprechenden Reinigungs-Mixtur soll eine Spülung mit deionisiertem Wasser erfolgen, dem eine Trocknung …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Siconnex customized solutions GmbH