Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter Tempress erwähnt wird
2011-05-24Automatischer Bor-Diffusions- und Oxidations-Quarzrohrofen (Fraunhofer Gesellschaft e.V.)
Der Quarzglas-Rohrofen wird für die Durchführung von Diffusions- und Oxidationsprozesse verwendet. Er ist mit fünf Rohren bestückt, einem automatisierten System für das Waferhandling, sowie zur Prozesskontrolle, ausgerüstet. Der Ofen ist mit zwei Rohren zur BBr-Diffusion sowie mit drei Rohren zur thermischen Oxidation konfiguriert. Optional kann eines der drei Rohre für die thermische Oxidation nicht vollständig ausgebaut sein, muss aber für eine spätere Nachrüstung vorkonfiguriert sein. Der Ofen wird …
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