Ausschreibung zur Beschaffung eines Nanoimprint Lithographie Systems
Die Hochschule Karlsruhe beabsichtigt für die Aufstellung in einem Klasse 1000 Reinraum, eine UV-Nanoimprint Lithographie (UV-NIL) Anlage zu kaufen, welche folgende Anforderungen erfüllt:
— UV-NIL Nanoimprinting mit weichen Stempeln,
— Vorder- und Rückseitenlithographie (Mask Aligner).
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-09-22.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-08-17.
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2011-08-17
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Auftragsbekanntmachung
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