Automatischer Bor-Diffusions- und Oxidations-Quarzrohrofen

Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Der Quarzglas-Rohrofen wird für die Durchführung von Diffusions- und Oxidationsprozesse verwendet. Er ist mit fünf Rohren bestückt, einem automatisierten System für das Waferhandling, sowie zur Prozesskontrolle, ausgerüstet. Der Ofen ist mit zwei Rohren zur BBr-Diffusion sowie mit drei Rohren zur thermischen Oxidation konfiguriert. Optional kann eines der drei Rohre für die thermische Oxidation nicht vollständig ausgebaut sein, muss aber für eine spätere Nachrüstung vorkonfiguriert sein. Der Ofen wird für Forschungs- und Entwicklungszwecke eingesetzt. Die automatisierte Waferbeladung ist kompatibel mit den im PVTEC benutzten Waferträgern (Carrier), ferner ist die Möglichkeit einer manuellen Be- und Entladung der Wafer in das bzw. aus dem Boot, umgesetzt. Das vollautomatische Handlingsystem erlaubt die Messung der Lebensdauern der effektiven Minoritätsladungsträger mittels QSSPC Methode sowie der kontaktlosen Messung von Substratleitfähigkeit und Waferdicke. Eine automatisierte Messung jedes prozessierten Wafers ist beim Beladen vor Beginn eines Rohrofenprozesses möglich, sowie beim Entladen nach erfolgter Prozessierung im Ofen, weiterhin unabhängig von der Nutzung des Ofens. Der Ofen, die Automatisierung und die Meßsysteme werden als Gesamtsystem betrachtet. Das gesamte System erlaubt Einzelwaferverfolgung und Transfer der Daten zum PVTEC Prozesskontrollsystem.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-07-15. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-05-24.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • Tempress

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Wie?

• • Industrielle Maschinen

Wo?

• • Freiburg › Freiburg im Breisgau, Stadtkreis