Batchanlage zur Reinigung von Si-Scheiben

IHP GmbH, Leibniz-Institut für Innovative Mikroelektronik

Batch-Anlage zur Reinigung von Siliziumscheiben mit Hilfe von Lösungsmitteln unter Anwendung des Sprühschleuderverfahrens.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-11-30. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-10-06.

Wer?

Wie?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2011-10-06 Auftragsbekanntmachung
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