Beschaffung einer Sprühätzanlage für das Halbleiterlabor

Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. - Max-Planck-Institut für extraterrestrische Physik

Sprühätzanlage für 6-8 Zoll Siliziumwafer mit einer Prozesskammer und 4 rezirkulierten Tanks. Verwendet zum strukturierten Ätzen von Aluminium- und Oxidschichten inkl. Lackstrip-Prozess mittels Ozon und heissem DI-Wasser.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-11-28. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-10-12.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • Siconnex customized solution service GmbH

Wer?

• • Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. - Max-Planck-Institut für extraterrestrische Physik

Wie?

• • Dienstleistungen im Bereich Forschung und experimentelle Entwicklung › Experimentelle Entwicklung

Wo?

• • Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt