Beschaffung einer Sprühätzanlage für das Halbleiterlabor

Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. - Max-Planck-Institut für extraterrestrische Physik

Sprühätzanlage für 6-8 Zoll Siliziumwafer mit einer Prozesskammer und 4 rezirkulierten Tanks. Verwendet zum strukturierten Ätzen von Aluminium- und Oxidschichten inkl. Lackstrip-Prozess mittels Ozon und heissem DI-Wasser.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-11-28. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-10-12.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2011-10-12 Auftragsbekanntmachung
2012-01-18 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2011-10-12)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Experimentelle Entwicklung
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Experimentelle Entwicklung 📦

Verfahren
Verfahrensart: Nicht offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Niedrigster Preis

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. - Max-Planck-Institut für extraterrestrische Physik
Postanschrift: Giessenbachstrasse
Postleitzahl: 85748
Postort: Garching
Kontakt
Internetadresse: http://www.mpe.mpg.de 🌏
E-Mail: kuhwald@mpe.mpg.de 📧
Telefon: +49 8930000-3594 📞
Fax: +49 8930000-3564 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2011-10-12 📅
Einreichungsfrist: 2011-11-28 📅
Veröffentlichungsdatum: 2011-10-14 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2011/S 198-322531
ABl. S-Ausgabe: 198

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Sprühätzanlage für 6-8 Zoll Siliziumwafer mit einer Prozesskammer und 4 rezirkulierten Tanks. Verwendet zum strukturierten Ätzen von Aluminium- und Oxidschichten inkl. Lackstrip-Prozess mittels Ozon und heissem DI-Wasser.
Es werden Varianten akzeptiert
Referenznummer: AZ 08/2011

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:
Anzahlung bis zu einem Drittel ist möglich in Verbindung mit einer unbefristeten Bankbürgschaft eines in Europa mit erstem juristischen Sitz zugelassenen Kreditinstitutes oder Kreditversicherers.

Verfahren
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Frau Kuhwald

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: AZ 08/2011

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Regierung von Oberbayern - Vergabekammer Südbayern
Postanschrift: Maximilianstr. 39
Postort: München
Postleitzahl: 80538
Land: Deutschland 🇩🇪
Internetadresse: http://www.regierung.oberbayern.bayern.de 🌏
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Der Bieter bzw. Auftragnehmer muss gem. § 97 Abs. 7 GWB zur Wahrung seiner Rechte bei Feststellung von Verstößen gegen Vergabevorschriften diese unverzüglich nach Feststellung und innerhalb der Fristen gem. § 107 GWB u. § 114 Abs. 2 GWB schriftlich gegenüber dem Auftraggeber rügen.
Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2011/S 198-322531 (2011-10-12)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2012-01-18)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Telefon: +49 89300003594 📞
Fax: +49 89300003564 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2012-01-18 📅
Veröffentlichungsdatum: 2012-01-20 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2012/S 13-020067
Verweist auf Bekanntmachung: 2011/S 198-322531
ABl. S-Ausgabe: 13

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2011-12-15 📅
Name: Siconnex customized solution service GmbH
Postanschrift: Gewerbestr. 2
Postort: Salzburg/Hof
Postleitzahl: 5322
Land: Österreich 🇦🇹
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Internetadresse: www.regierung.oberbayern.bayern.de 🌏
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Der Bieter bzw. Auftragnehmer muss gem. §97 Abs.7 GWB zur Wahrung seiner Rechte bei Feststellung von Verstößen gegen Vergabevorschriften diese unverzüglich nach Feststellung und innerhalb der Fristen gem. § 107 GWB u. § 114 Abs. 2 GWB schriftlich gegenüber dem Auftraggeber rügen.
Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2012/S 013-020067 (2012-01-18)