Beschaffung eines Laserlithographiesystems (DFG-GZ: A 632)

Deutsche Forschungsgemeinschaft e.V., Zentrale Beschaffungsstelle

Anforderungen an das Gerät.
1. 3D Laserlithographiesystem:
Grundanforderungen:
1.1. Es muss möglich sein, echte 3D-Strukturen im Submikrometerbereich in Photolack innerhalb eines Prozessschrittes mit Hilfe der 2-Photonenpolymerisation zu schreiben.
1.2. Der Einsatz verschiedener Photolacke muss möglich sein: SU-8, Ormocere, Acrylbasierte Photolacke.
1.3. Lateraler Schreibbereich: bis zu 100 x 100 mm².
1.4. Bereich höchster Auflösung ohne Stitching: 300 x 300 x 300 μm³.
1.5. Minimale laterale 3D Strukturgröße: 150 nm.
1.6. Strukturhöhen: Es muss möglich sein, Strukturen von bis zu 500 μm oder mehr zu realisieren bei konstanter hoher Auflösung unabhängig von der Schreibhöhe.
1.7. Auflösung (Abstand benachbarter Linien) in 2D: 300 nm.
1.8. Abnahmestruktur vor Ort: Als Nachweis in 3D muss eine sogenannte Woodpile-Struktur mit 600 nm lateraler Gitterkonstante geschrieben werden. Als 2D Struktur muss ein Gitter mit 300 nm Periodizität geschrieben werden können.
1.9. Für Photolacke, deren Brechzahl sich bei der Belichtung genügend stark erhöht, muss der Schreibprozess live beobachtbar sein.
1.10. Das Gerät muss mit einem schwingungsgedämpften Tisch ausgestattet sein.
1.11. Anforderung an das Objektiv mit höchster Auflösung: Vergrößerung 100x, NA= 1.4; Arbeitsabstand=170 μm
1.12. Zentrale Laserwellenlänge: 780 ± 10 nm.
2. Automatisierung und Software:
2.1. Probenhandling: Es müssen bis zu 10 Proben mit einem Durchmesser von je 30 mm sukzessive automatisiert beschreibbar sein, ohne dass ein manuelles Eingreifen erforderlich ist.
2.2. Die Objektive des Mikroskops müssen automatisch gewechselt werden können.
2.3. Integration: Es muss sichergestellt sein, dass die geschriebenen Strukturen sicher mit dem Substrat verankert werden. Dazu muss das Gerät mit einem Autofokus ausgerüstet sein, der die Grenzschicht Photolack/Substrat automatisiert findet.
2.4. Die Verkippung des Substrates muss automatisch durch die Software korrigiert werden können.
2.5. Automatisierte Berücksichtigung der Massenträgheit der bewegten Probe durch die Bediensoftware des Gerätes zur Optimierung der Pfadtreue vorgegebener Trajektorien.
2.6. Automatisierte Laserleistungsanpassung für variable Verfahrgeschwindigkeiten.
2.7. Fernbedienung: Das System muss im betriebsbereiten Zustand fernbedienbar sein. Insbesondere muss der Schreibprozess überwacht, gestartet und gestoppt werden können.
2.8. Import von 3D-Zeichnungen:
Strukturen, die mit einer 3D CAD-Software erstellt wurden und unter stl-Dateiformat abgespeichert wurden, müssen konvertiert werden können und danach in die Software importiert werden können. Des weiteren muss eine Anpassung der Laserleistung abhängig von der Schreibhöhe zur bestmöglichen Korrektur auftretender Aberrationen möglich sein.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-12-01. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-10-24.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt: