Beschaffung eines Laserlithographiesystems (DFG-GZ: A 632)

Deutsche Forschungsgemeinschaft e.V., Zentrale Beschaffungsstelle

Anforderungen an das Gerät.
1. 3D Laserlithographiesystem:
Grundanforderungen:
1.1. Es muss möglich sein, echte 3D-Strukturen im Submikrometerbereich in Photolack innerhalb eines Prozessschrittes mit Hilfe der 2-Photonenpolymerisation zu schreiben.
1.2. Der Einsatz verschiedener Photolacke muss möglich sein: SU-8, Ormocere, Acrylbasierte Photolacke.
1.3. Lateraler Schreibbereich: bis zu 100 x 100 mm².
1.4. Bereich höchster Auflösung ohne Stitching: 300 x 300 x 300 μm³.
1.5. Minimale laterale 3D Strukturgröße: 150 nm.
1.6. Strukturhöhen: Es muss möglich sein, Strukturen von bis zu 500 μm oder mehr zu realisieren bei konstanter hoher Auflösung unabhängig von der Schreibhöhe.
1.7. Auflösung (Abstand benachbarter Linien) in 2D: 300 nm.
1.8. Abnahmestruktur vor Ort: Als Nachweis in 3D muss eine sogenannte Woodpile-Struktur mit 600 nm lateraler Gitterkonstante geschrieben werden. Als 2D Struktur muss ein Gitter mit 300 nm Periodizität geschrieben werden können.
1.9. Für Photolacke, deren Brechzahl sich bei der Belichtung genügend stark erhöht, muss der Schreibprozess live beobachtbar sein.
1.10. Das Gerät muss mit einem schwingungsgedämpften Tisch ausgestattet sein.
1.11. Anforderung an das Objektiv mit höchster Auflösung: Vergrößerung 100x, NA= 1.4; Arbeitsabstand=170 μm
1.12. Zentrale Laserwellenlänge: 780 ± 10 nm.
2. Automatisierung und Software:
2.1. Probenhandling: Es müssen bis zu 10 Proben mit einem Durchmesser von je 30 mm sukzessive automatisiert beschreibbar sein, ohne dass ein manuelles Eingreifen erforderlich ist.
2.2. Die Objektive des Mikroskops müssen automatisch gewechselt werden können.
2.3. Integration: Es muss sichergestellt sein, dass die geschriebenen Strukturen sicher mit dem Substrat verankert werden. Dazu muss das Gerät mit einem Autofokus ausgerüstet sein, der die Grenzschicht Photolack/Substrat automatisiert findet.
2.4. Die Verkippung des Substrates muss automatisch durch die Software korrigiert werden können.
2.5. Automatisierte Berücksichtigung der Massenträgheit der bewegten Probe durch die Bediensoftware des Gerätes zur Optimierung der Pfadtreue vorgegebener Trajektorien.
2.6. Automatisierte Laserleistungsanpassung für variable Verfahrgeschwindigkeiten.
2.7. Fernbedienung: Das System muss im betriebsbereiten Zustand fernbedienbar sein. Insbesondere muss der Schreibprozess überwacht, gestartet und gestoppt werden können.
2.8. Import von 3D-Zeichnungen:
Strukturen, die mit einer 3D CAD-Software erstellt wurden und unter stl-Dateiformat abgespeichert wurden, müssen konvertiert werden können und danach in die Software importiert werden können. Des weiteren muss eine Anpassung der Laserleistung abhängig von der Schreibhöhe zur bestmöglichen Korrektur auftretender Aberrationen möglich sein.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-12-01. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-10-24.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Nanoscribe GmbH

Wer?

• Deutsche Forschungsgemeinschaft e.V., Zentrale Beschaffungsstelle

Wie?

• Astronomische und optische Instrumente › Optische Fachinstrumente

Wo?

• Freiburg › Freiburg im Breisgau, Stadtkreis

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2011-10-24	Auftragsbekanntmachung
2012-03-07	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2011-10-24)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Optische Fachinstrumente
Menge oder Umfang: 1 System
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Optische Fachinstrumente 📦

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Deutsche Forschungsgemeinschaft e.V., Zentrale Beschaffungsstelle
Postanschrift: Kennedyallee 40
Postleitzahl: 53175
Postort: Bonn
Kontakt
Internetadresse: http://www.dfg.de 🌏
E-Mail: ute.breuer@dfg.de 📧
Telefon: +49 2288852474 📞
Fax: +49 2288853676 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2011-10-24 📅
Einreichungsfrist: 2011-12-01 📅
Veröffentlichungsdatum: 2011-10-27 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2011/S 207-337180
ABl. S-Ausgabe: 207
Zusätzliche Informationen

Das Aktenzeichen entsprechend Ziff. IV.3.1) ist bei sämtlicher Korrespondenz anzugeben. Beim Schlusstermin laut Ziff. IV.3.4) handelt es sich um den Schlusstermin für den Eingang der Teilnahmeanträge (nicht für den Eingang der Angebote). Vor Ablauf des Schlusstermins gemäß Ziff. IV.3.4) werden keine Verdingungsunterlagen versendet.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Anforderungen an das Gerät.

1. 3D Laserlithographiesystem:

Grundanforderungen:

1.1. Es muss möglich sein, echte 3D-Strukturen im Submikrometerbereich in Photolack innerhalb eines Prozessschrittes mit Hilfe der 2-Photonenpolymerisation zu schreiben.

1.2. Der Einsatz verschiedener Photolacke muss möglich sein: SU-8, Ormocere, Acrylbasierte Photolacke.

1.3. Lateraler Schreibbereich: bis zu 100 x 100 mm².

1.4. Bereich höchster Auflösung ohne Stitching: 300 x 300 x 300 μm³.

1.5. Minimale laterale 3D Strukturgröße: 150 nm.

1.6. Strukturhöhen: Es muss möglich sein, Strukturen von bis zu 500 μm oder mehr zu realisieren bei konstanter hoher Auflösung unabhängig von der Schreibhöhe.

1.7. Auflösung (Abstand benachbarter Linien) in 2D: 300 nm.

1.8. Abnahmestruktur vor Ort: Als Nachweis in 3D muss eine sogenannte Woodpile-Struktur mit 600 nm lateraler Gitterkonstante geschrieben werden. Als 2D Struktur muss ein Gitter mit 300 nm Periodizität geschrieben werden können.

1.9. Für Photolacke, deren Brechzahl sich bei der Belichtung genügend stark erhöht, muss der Schreibprozess live beobachtbar sein.

1.10. Das Gerät muss mit einem schwingungsgedämpften Tisch ausgestattet sein.

1.11. Anforderung an das Objektiv mit höchster Auflösung: Vergrößerung 100x, NA= 1.4; Arbeitsabstand=170 μm

1.12. Zentrale Laserwellenlänge: 780 ± 10 nm.

2. Automatisierung und Software:

2.1. Probenhandling: Es müssen bis zu 10 Proben mit einem Durchmesser von je 30 mm sukzessive automatisiert beschreibbar sein, ohne dass ein manuelles Eingreifen erforderlich ist.

2.2. Die Objektive des Mikroskops müssen automatisch gewechselt werden können.

2.3. Integration: Es muss sichergestellt sein, dass die geschriebenen Strukturen sicher mit dem Substrat verankert werden. Dazu muss das Gerät mit einem Autofokus ausgerüstet sein, der die Grenzschicht Photolack/Substrat automatisiert findet.

2.4. Die Verkippung des Substrates muss automatisch durch die Software korrigiert werden können.

2.5. Automatisierte Berücksichtigung der Massenträgheit der bewegten Probe durch die Bediensoftware des Gerätes zur Optimierung der Pfadtreue vorgegebener Trajektorien.

2.6. Automatisierte Laserleistungsanpassung für variable Verfahrgeschwindigkeiten.

2.7. Fernbedienung: Das System muss im betriebsbereiten Zustand fernbedienbar sein. Insbesondere muss der Schreibprozess überwacht, gestartet und gestoppt werden können.

2.8. Import von 3D-Zeichnungen:

Strukturen, die mit einer 3D CAD-Software erstellt wurden und unter stl-Dateiformat abgespeichert wurden, müssen konvertiert werden können und danach in die Software importiert werden können. Des weiteren muss eine Anpassung der Laserleistung abhängig von der Schreibhöhe zur bestmöglichen Korrektur auftretender Aberrationen möglich sein.

Es werden Varianten akzeptiert ✅
Referenznummer: ZUK 43/2011 (A 632)
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Universität Freiburg.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:

Anzahlungen bis zur Höhe von max. 50 % des Kaufpreises werden nur gegen unbefristete Bankbürgschaft nach deutschem Recht geleistet.

Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Referenzliste bereits gelieferter Systeme gleichen Typs.

Verfahren
Datum der Absendung der Aufforderungen: 2011-12-08 📅
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Technischer Wert (50)
2. Preis (50)
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Frau Ute Breuer
Internetadresse: www.dfg.de 🌏

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: ZUK 43/2011 (A 632)
Zusätzliche Informationen

Das Aktenzeichen entsprechend Ziff. IV.3.1) ist bei sämtlicher Korrespondenz anzugeben.

Beim Schlusstermin laut Ziff. IV.3.4) handelt es sich um den Schlusstermin für den Eingang der Teilnahmeanträge (nicht für den Eingang der Angebote). Vor Ablauf des Schlusstermins gemäß Ziff. IV.3.4) werden keine Verdingungsunterlagen versendet.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Das GWB (Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen) verpflichtet uns, Sie zu gegebener Zeit über die beabsichtigte Auftragsvergabe zu informieren. Hiergegen haben Sie die Möglichkeit, innerhalb einer festgelegten Frist vor der Vergabekammer bei der Bezirksregierung Köln, 50606, zu klagen. Im Falle einer fristgerechten Klage erbitten wir eine entsprechende Information.

Quelle: OJS 2011/S 207-337180 (2011-10-24)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2012-03-07)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2012-03-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2012-03-08 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2012/S 47-076729
Verweist auf Bekanntmachung: 2011/S 207-337180
ABl. S-Ausgabe: 47

Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: ZUK 43/2011-3010471

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2011-12-22 📅
Name: Nanoscribe GmbH
Postanschrift: Hermann-von-Helmholtz-Platz 1
Postort: Eggenstein-Leopoldshafen
Postleitzahl: 76344
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Referenz
Kennungen
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2011/S 207-337180
Quelle: OJS 2012/S 047-076729 (2012-03-07)

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