Clusterplattform
Vakuum-Clusterplattform zur Handhabung von 450 mm und 300 mm Wafern in der Halbleiterfertigung: Die Clusterplattform kommt in einem Reinraum zum Einsatz und dient dem Anschluss von mindestens drei Prozessmodulen. Die Plattform besteht aus einem zentralen Transportmodul und mindestens einem Belademodul (keine Prozessmodule).
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-05-27.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-04-20.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2011-04-20
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Auftragsbekanntmachung
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| 2012-01-12
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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