Diffusionsofen
Ein Diffusionsofen, bestehend aus 4 horizontalen Rohren für Scheibendurchmesser bis 200 mm und Batchgrößen bis 100 Stück Siliciumscheiben. Eine Konfiguration, bestehend aus trockener Oxidation, feuchter Oxidation, POCl3 Dotierung und Formiergastemperung wird angestrebt. Aufgrund von Forschungsaufgaben müssen ziemlich unterschiedliche Oxidationsrezepte in ein und demselben Rohr gefahren werden. Daher ist eine hohe Flexibilität gefordert. Ein weiterer bedeutender Faktor, besonders in der Forschung, ist die Flexibilität beim Handling von Siliciumscheiben unterschiedlicher Durchmesser. So sollen Scheiben von 100 bis 200 mm transportiert und prozessiert werden können. Deshalb soll ein einfacher und schneller Tausch der Boote möglich sein. Scheibendurchsatz ist dagegen nicht von übergeordneter Bedeutung. Handbeladung ist daher ausreichend.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-12-01.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-10-25.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2011-10-25
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Auftragsbekanntmachung
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| 2012-05-16
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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