Hochauflösendes Röntgendiffraktometer

Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Zur Analyse von Dünnschicht-Heterostrukturen bezüglich struktureller Parameter wie Gitterparameter, Zusammensetzung, Relaxationseffekte, Schichtdicken, Schichtrauhigkeiten, struktureller Perfektion und Schichthomogenität planen wir die Beschaffung eines neuen hochauflösenden Röntgendiffraktometers. Die Variation dieser strukturellen Parameter sollen über Wafer bis zu 100 mm Durchmesser analysiert werden. Das Einjustieren der Proben, die Messabläufe und Auswertungen müssen schnell, exakt und zu einem hohen Grad automatisiert sein.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-07-08. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-05-17.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • PANalytical GmbH

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Wie?

• • Industrielle Maschinen

Wo?

• • Freiburg › Freiburg im Breisgau, Stadtkreis