Ionen-Ätzanlage mit Parallelplatten-Reaktor und Ionen-Ätzanlage mit ICP-Reaktor

Fraunhofer Gesellschaft e.V.

2 Trockenätzanlagen zum Strukturieren von InP-Wafern mittels RIE

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-10-20. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-09-13.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • Oxford Instruments GmbH Plasma Technology

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Wie?

• • Industrielle Maschinen

Wo?

• • Berlin › Berlin