Kombiniertes Elektronenstrahllihographieund Elektronenmikroskopiesystem
Kombiniertes System für die Elektronenstrahllithographie und die Elektronenmikroskopie.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2012-02-01.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-12-14.
Wer?
Wie?
Geschichte der Beschaffung
Datum |
Dokument |
2011-12-14
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Auftragsbekanntmachung
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