Laservibrometer
Ein Messsystem zur zerstörungsfreien Charakterisierung der Bewegungen und bewegungsbedingten Verformungen mikromechanischer Bauelemente auf Siliziumbasis muss dabei an die charakteristischen Dimensionen der Untersuchungsobjekte im Bereich einiger Mikrometer bis wenige Millimeter und an die großen Geschwindigkeiten der Bewegung von bis zu 15 m/s und Frequenzen bis zu wenigen Megahertz angepasst sein. Die Messaufgabe schließt die zeitaufgelöste Aufzeichnung der Bewegung der Bauelemente an einzelnen Messpunkten in Amplitude und Richtung ein. Mit Hilfe der Fourieranalyse sind verschiedene Schwingungskomponenten zu bestimmen. Optional kann ein Messsystem zur Bestimmung der Bauelementtopographie integriert sein.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-05-23.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-04-01.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2011-04-01
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Auftragsbekanntmachung
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| 2011-08-02
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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