Lieferung einer Glovebox-Sputteranlage zur Herstellung von Li-Verbindungs-Dünnschichten

Ruhr-Universität Bochum

Der Lehrstuhl "Werkstoffe der Mikrotechnik" am Institut für Werkstoffe der Ruhr-Universität Bochum (www.rub.de/wdm), möchte eine Glovebox-Beschichtungsanlage beschaffen, zur Herstellung dünner Schichten bzw. Materialbibliotheken aus elementarem Lithium und ähnlich reaktiven Elementen, Li-Legierungen sowie Lithium-Metalloxiden und -phospaten. Die Anlage muss mit diesen und weiteren reaktiven Elementen kompatibel sein. Die Anlage muss 3 Magnetron Sputter-Kathoden (mit RF-, DC-Quellen) mit einem Targetdurchmesser von mindestens jeweils 50 mm enthalten, angeordnet in einer konfokalen Dreieckskonfiguration. Die Kathoden müssen mit Kathodenshuttern ausgestattet sein. Es muss zentral ein freier Platz für eine vierte Quelle (Sputterkathode oder Verdampfer) vorhanden sein. Die Anlage muss den gleichzeitigen Betrieb von Sputterquellen und der Verdampferquelle erlauben, sodass mit allen Quellen sinnvolle Beschichtungsraten erzielt werden können. Die Beschichtung erfolgt von unten nach oben, wobei die Möglichkeit bestehen muss, sowohl sequentiell (Multilagen) als auch simultan (Co-sputtern) Schichten abzuscheiden. Es wird ein (rotierbarer) Substrathalter mit Heizer benötigt, der homogen über ein Durchmesser 100 mm Substrat eine Temperatur von mindestens 600C (oder höher) erreicht und die Option bietet RF Bias nutzen zu können. Es muss die Möglichkeit bestehen zwischen den Quellen und dem Substrat vom Nutzer konzipierte Blenden einbringen zu können. Als Prozessgase sollen Ar und Mischgase aus Ar, O2 und/oder N2 zum Einsatz kommen. Die Steuerung der Prozesse muss rezept-basiert über einen Computer laufen, wobei alle kritischen Prozessparameter per Software am Computer eingestellt sowie in einer Datei aufgezeichnet werden sollen. Die Rezepte müssen vom Nutzer individuell erstellt werden können. Die Glovebox muss mit der Beschichtungsanlage als eine Einheit konzipiert und geliefert werden. Die Funktion der Anlage als eine funktionierende Einheit aus Beschichtungsanlage und Glovebox muss bei der Endabnahme im Werk oder spätestens bei der Endabnahme an der RUB unter Beweis gestellt werden. Minimale Arbeitsfläche innerhalb der Glovebox neben der Beschichtungskammer: 80 cm x 80 cm. Mindestens 2 Handschuhpaare, mit denen der gesamte Arbeitsraum innerhalb der Glovebox erreichbar sein muss. Ablageregal innerhalb der Glovebox. Die Vakuumkammer muss sich innerhalb der Glovebox befinden, wobei Reinigungs- und Wartungsarbeiten und insbesondere Targetwechsel in kontrollierter Atmosphäre einfach möglich sein müssen, d.h. während des Gloveboxbetriebes. Die Glovebox steht unter Ar-Atmosphäre, die weniger als 1 ppm O2 und weniger als 1 ppm H2O enthalten darf, wobei beide Größen kontinuierlich überwacht werden müssen. Das Ar muss rückgeführt werden, wobei entsprechende Filter eingesetzt werden müssen, die periodisch regeneriert werden können. Es muss mindestens eine Schleuse geben, um Materialien in die Glovebox hinein und hinaus zu bekommen. Die Lieferung des Gerätes soll schnellst möglich erfolgen. Wunschtermin ist Januar 2012.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-06-30. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-05-30.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • Creavac - Creative Vakuumbeschichtung GmbH

Wer?

• • Ruhr-Universität Bochum

Wie?

• • Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• • Arnsberg › Bochum, Kreisfreie Stadt