Lithography system: resist coating and developing tool, mask aligner

NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut an der Universität Tübingen

Specification for lithography system A + B.
A. Automated resist coating and developing tool.
The process area of the new resist coating and developing system should cover a wide variety of resist materials and substrates.
Different applications in microsystems and nanotechnology with a focus on biomedical applications and biosensor development and production are addressed.
Therefore customized configurations of coat, bake, develop, and chill modules are necessary. Flexibility should be ensured by programmable processes and possible conversion to different substrate sizes. The system should allow R&D as well as high volume processes.
The system should be modular with coat, bake, develop and chill modules. Carriers should be able to be used in other systems.
B. Mask aligner.
Substrates coated in system A should be processed in the mask aligner and developed in system A. Carriers should be able to be used in other systems.
The lithography tools should be flexible to operate in manual mode with new and different substrates (glass, silicon wafers, polymer foils), processes and materials. Semi-automatic and also automated processing of the substrates is possible. Software should be user-friendly comparable to those of system A.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-06-17. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-05-10.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• SÜSS MicroTec Lithography GmbH

Wer?

• NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut an der Universität Tübingen

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Tübingen › Reutlingen

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2011-05-10	Auftragsbekanntmachung
2011-10-21	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2011-05-10)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Englisch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Postanschrift: Markwiesenstrasse 55
Postleitzahl: 72770
Postort: Reutlingen
Kontakt
Internetadresse: http://www.nmi.de 🌏
E-Mail: guenter.beck@nmi.de 📧
: thomas.schweikert@nmi.de 📧
Telefon: +49 712151530-15 / 712151530-885 📞
Fax: +49 712151530-16 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2011-05-10 📅
Einreichungsfrist: 2011-06-17 📅
Veröffentlichungsdatum: 2011-05-14 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2011/S 93-152444
ABl. S-Ausgabe: 93

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Specification for lithography system A + B.

A. Automated resist coating and developing tool.

The process area of the new resist coating and developing system should cover a wide variety of resist materials and substrates.

Different applications in microsystems and nanotechnology with a focus on biomedical applications and biosensor development and production are addressed.

Therefore customized configurations of coat, bake, develop, and chill modules are necessary. Flexibility should be ensured by programmable processes and possible conversion to different substrate sizes. The system should allow R&D as well as high volume processes.

The system should be modular with coat, bake, develop and chill modules. Carriers should be able to be used in other systems.

B. Mask aligner.

Substrates coated in system A should be processed in the mask aligner and developed in system A. Carriers should be able to be used in other systems.

The lithography tools should be flexible to operate in manual mode with new and different substrates (glass, silicon wafers, polymer foils), processes and materials. Semi-automatic and also automated processing of the substrates is possible. Software should be user-friendly comparable to those of system A.

Losnummer: 1
Bezeichnung des Loses: Automated resist coating and developing tool (system A)
Kurze Beschreibung:

The process area of the new resist coating and developing system should cover a wide variety of resist materials and substrates.Different applications in microsystems and nanotechnology with a focus on biomedical applications and biosensor development and production are addressed.Therefore customized configurations of coat, bake, develop, and chill modules are necessary. Flexibility should be ensured by programmable processes and possible conversion to different substrate sizes. The system should allow R&D as well as high volume processes.The system should be modular with coat, bake, develop and chill modules. Carriers should be able to be used in other systems.

Losnummer: 2
Bezeichnung des Loses: Mask aligner (System B)
Kurze Beschreibung:

Substrates coated in system A should be processed in the mask aligner and developed in system A. Carriers should be able to be used in other systems.The lithography tools should be flexible to operate in manual mode with new and different substrates (glass, silicon wafers, polymer foils), processes and materials. Semi-automatic and also automated processing of the substrates is possible. Software should be user-friendly comparable to those of system A.

Referenznummer: INV11055
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: EFRE.
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Markwiesenstr. 55, 72770 Reutlingen, GERMANY.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

§ 7 Abs. 8 VOL/A-EG FRG.

Actual Certificate of commercial register.

Confirmation of the consignee that:

— no registration of insolvency is filed nor the application was refused,

— all due amounts of taxes and social security are paid.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit: § 6 Abs. 6a VOL/A-EG FRG.
Mindeststandards: Confirmation of the total sales amount within the last 3 years.
Technische und berufliche Fähigkeiten: § 7 Abs. 3 VOL/A-EG FRG.
Mindeststandards:

Confirmation of the technical capacity of production facilities, activities of quality management and test and show facilities at the sellers site.

References of basic sales in the last 3 years of comparable systems.

Auftragsausführung
Geforderte Kautionen und Garantien: § 18 VOL/B FRG.
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:

§ 17 VOL/B FRG.

Prepayments against irrevocable letter of guarantee of a bank in Germany.

Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Joint liablility with authorised representative.

Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 6
Objektive Auswahlkriterien: Confirmation of the eligibility requirements.
Datum der Absendung der Aufforderungen: 2011-07-01 📅
Sprachen
Sprache: Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut an der Universität Tübingen
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Günter Beck / Thomas Schweikert
Adresse des Käuferprofils: http://www.nmi.de 🌏

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: INV11055

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Baden-Württemberg [Regierungspräsidium Karlsruhe]
Postanschrift: Karl-Friedrich-Straße 17
Postort: Karlsruhe
Postleitzahl: 76133
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: poststelle@rpk.bwl.de 📧
Telefon: +49 721926-0 📞
Internetadresse: http://www.rp-karlsruhe.de/servlet/PB/menu/1159131/index.html 🌏
Fax: +49 721926-3985 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

See § 107 Abs. 3 Nr. 1-4; § 101a Abs. 1 u. § 114 Abs. 2 GWB of the Federal Republic of Germany.

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut an der Universität Tübingen
Postanschrift: Markwiesenstr. 55
Postort: Reutlingen
Postleitzahl: 72770
Telefon: +49 712151530-15 / 712151530-885 📞
Internetadresse: http://nmi.de 🌏
Fax: +49 712151530-16 📠
Quelle: OJS 2011/S 093-152444 (2011-05-10)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2011-10-21)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 900 000,00 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2011-10-21 📅
Veröffentlichungsdatum: 2011-10-26 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2011/S 206-335128
Verweist auf Bekanntmachung: 2011/S 93-152444
ABl. S-Ausgabe: 206

Objekt
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 72770 Reutlingen, Markwiesenstr. 55.

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Delivery price (30)
2. Knowhow lithography (15)
3. Knowhow resist coating (15)
4. Technical specification (20)
5. Flexibility (10)
6. Service (10)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2011-08-18 📅
Name: SÜSS MicroTec Lithography GmbH
Postanschrift: Schleissheimer Str. 90
Postort: Garching
Postleitzahl: 85748
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: info@suss.com 📧
Internetadresse: www.suss.com 🌏
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 4

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Baden-Württemberg
Quelle: OJS 2011/S 206-335128 (2011-10-21)

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