Multi-wire-Drahtsäge
Mit der multi-wire-Drahtsäge werden harte und spröde Materialien in eine vielzahl dünner Scheiben getrennt. Hierbei wird mit herkömmlichem Sägedraht und losem Korn in einer Trägerflüssigkeit sowie mit diamantbesetztem Draht gesägt. Die hergestellten Proben werden verwendet, um Einflussfaktoren hinsichtlich warp, TTV sowie auftretende Oberflächenschädigungen mit unterschiedlichen Trennmitteln und Prozessparametern an Halbleitermaterialien zu untersuchen.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-03-18.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-01-25.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2011-01-25
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Auftragsbekanntmachung
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| 2011-03-02
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Ergänzende Angaben
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| 2011-03-22
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Ergänzende Angaben
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| 2011-05-31
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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