Niederdruck-Gasphasenabscheidungssystem

Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Ein vertikales Niederdruck-Gasphasenabscheidungssystem für die Abscheidung von Polysiliciumschichten im Dickenbereich von 10 nm bis 2 μm auf Siliciumscheiben mit maximal 200 mm Scheibendurchmesser und vorzugsweise einer Batchgröße von 25 Scheiben. Um für die dotierte Abscheidung eine möglichst hohe Homogenität des spezifischen Widerstands, sowohl über die Scheibe, als auch über das Boot erreichen zu können, ist ein fortschrittliches Gasinjektionssystem und eine Scheibenrotation wünschenswert. Da wir vor allem in der Forschung tätig sind, müssen ziemlich unterschiedliche Abscheiderezepte in ein und demselben Rohr gefahren werden.
Daher ist eine hohe Flexibilität gefordert.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2012-01-20. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-12-12.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Wie?

• Industrielle Maschinen

Wo?

• Mittelfranken › Erlangen, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2011-12-12	Auftragsbekanntmachung
2012-09-11	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2011-12-12)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Menge oder Umfang: 1 Stück.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 891205-3229 📞
Fax: +49 891205-7548 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2011-12-12 📅
Einreichungsfrist: 2012-01-20 📅
Veröffentlichungsdatum: 2011-12-15 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2011/S 241-391098
ABl. S-Ausgabe: 241
Zusätzliche Informationen

Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (§§ 19, 22 EG).

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Daher ist eine hohe Flexibilität gefordert.

Es werden Varianten akzeptiert ✅
Dauer: 4 Monate
Referenznummer: BM 879/211339/CL
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Erlangen.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: — Firmenprofil.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

— Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre,

— Eigenerklärung über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Sozialabgaben,

— Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde.

Technische und berufliche Fähigkeiten: — Komplette Referenzen von vergleichbaren Anlagen, nicht älter als 3 Jahre.
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Siehe Verdingungsunterlagen.
Sonstige besondere Bedingungen:

Die unter III.2 geforderten Unterlagen sind spätestens bis zu dem unter IV.3.4) genannten Termin vollständig vorzulegen.

Bitte senden Sie die geforderten Unterlagen per E-Mail an Einkauf@zv.fraunhofer.de. Vermerken Sie bitte die Bezugsnummer BM 879/211339/CLin der Betreffzeile.

Verfahren
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Nationale Registrierungsnummer: 0
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Carla Lönz
Internetadresse: www.fraunhofer.de 🌏
Postanschrift: Nur Elektronisch
Kontaktperson: BM 879/211339/CL
Frau Lönz
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: BM 879/211339/CL

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Str. 16
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53175
Land: Deutschland 🇩🇪
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. § 101a GWB informiert.

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstr. 2
Quelle: OJS 2011/S 241-391098 (2011-12-12)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2012-09-11)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer-Gesellschaft e. V.
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de/ 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2012-09-11 📅
Veröffentlichungsdatum: 2012-09-14 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2012/S 177-291116
Verweist auf Bekanntmachung: 2011/S 241-391098
ABl. S-Ausgabe: 177

Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: BM879/211339/CL

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Preis (40)
2. Technische Ausführung (40)
3. Support und Lieferzeit (20)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2012-09-03 📅
Name: Centrotherm Thermal Solutions GmbH & Co. KG
Postanschrift: Johannes-Schmid-Straße 3
Postort: Blaubeuren
Postleitzahl: 89143
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I 1 genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. § 101a GWB informiert.

Quelle: OJS 2012/S 177-291116 (2012-09-11)

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