PEALD-Anlage
Lieferung einer plasmaunterstützten Atomlagenabscheidungs-Anlage (PEALD), Plasmaquelle und entsprechende Sicherheitsüberwachungssysteme, Beschichtungskammer für Substrate mit Durchmesser mindestens 8 Zoll und weitere Zubehöreinheiten.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-11-14.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-10-13.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2011-10-13
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Auftragsbekanntmachung
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| 2012-01-12
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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