PECVD-System und RIE-Anlage

Fraunhofer Gesellschaft e.V.

PECVD-System zur Abscheidung dielektrischer Schichten und eine RIE-Anlage zum Trockenätzen von dielektrischen Schichten, Silizium und Polymermaterialien.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-10-03. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-09-16.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Oxford Instruments
• Oxford Instruments GmbH

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Wie?

• Industrielle Maschinen

Wo?

• Saarland › Regionalverband Saarbrücken

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2011-09-16	Auftragsbekanntmachung
2012-03-09	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2011-09-16)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Menge oder Umfang: Je 1 Stck.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦

Verfahren
Verfahrensart: Beschleunigtes Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für ein oder mehrere Los(e)
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 891205-3229 📞
Fax: +49 891205-7548 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2011-09-16 📅
Einreichungsfrist: 2011-10-03 📅
Veröffentlichungsdatum: 2011-09-21 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2011/S 181-294646
ABl. S-Ausgabe: 181
Zusätzliche Informationen

Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (§§ 19, 22 EG).

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

PECVD-System zur Abscheidung dielektrischer Schichten und eine RIE-Anlage zum Trockenätzen von dielektrischen Schichten, Silizium und Polymermaterialien.

Losnummer: 1
Bezeichnung des Loses: RIE-Anlage.
Kurze Beschreibung:

Das Fraunhofer IBMT sucht für seine Mikrofertigung eine Anlage zum Reaktiven Ionenätzen von verschiedenen…

… Materialien.Die Anlage soll die folgenden Spezifikationen erfüllen:— HF-Generator (13,56 MHz),— Parallelplattenreaktor zur Batch-Prozessierung,— Durchmesser der Substratelektrode: mindestens 310 mm,— Vakuumsystem: Turbo- oder Wälzkolbenpumpe mit Vorpumpe (Drehschieberpumpe),— Bearbeitung von Silizium, Polymeren und dielektrischen Schichten,— PC inkl. Steuersoftware,— Mass-Flow-kontrollierte Gaslinie(n) im System,— Temperierbare Substratelektrode (Heater/Chiller).

… Materialien.

Die Anlage soll die folgenden Spezifikationen erfüllen:

— HF-Generator (13,56 MHz),

— Parallelplattenreaktor zur Batch-Prozessierung,

— Durchmesser der Substratelektrode: mindestens 310 mm,

— Vakuumsystem: Turbo- oder Wälzkolbenpumpe mit Vorpumpe (Drehschieberpumpe),

— Bearbeitung von Silizium, Polymeren und dielektrischen Schichten,

— PC inkl. Steuersoftware,

— Mass-Flow-kontrollierte Gaslinie(n) im System,

— Temperierbare Substratelektrode (Heater/Chiller).

Menge oder Umfang: 1 Stck.
Losnummer: 2
Bezeichnung des Loses: PECVD-Anlage.
Kurze Beschreibung:

Das Fraunhofer IBMT sucht für seine Mikrofertigung eine Anlage zur plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung (PECVD) von Siliziumnitrid- und…

… Siliziumdioxidschichten.Die Anlage soll die folgenden Spezifikationen erfüllen:— HF-Generator (13,56 MHz) und LF-Generator (< 1 MHz), Frequency Mixing,— Parallelplattenreaktor zur Batch-Prozessierung,— Abscheidung von Si3N4 und SiO2,— Durchmesser der Substratelektrode: mindestens 310 mm,— Vakuumsystem: Wälzkolbenpumpe mit Vorpumpe (Drehschieberpumpe),— PC inkl. Steuersoftware,— Mass Flow kontrollierte Gaslinie(n) im System,— Geheizte Substratelektrode (mindestens 300° C).

… Siliziumdioxidschichten.

— HF-Generator (13,56 MHz) und LF-Generator (< 1 MHz), Frequency Mixing,

— Abscheidung von Si3N4 und SiO2,

— Vakuumsystem: Wälzkolbenpumpe mit Vorpumpe (Drehschieberpumpe),

— Mass Flow kontrollierte Gaslinie(n) im System,

— Geheizte Substratelektrode (mindestens 300° C).

Es werden Varianten akzeptiert ✅
Dauer: 6 Monate
Referenznummer: BM 045/236939/CL
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: St. Ingbert.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: — Firmenprofil.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

— Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre,

— Eigenerklärung über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Sozialabgaben,

— Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

— Komplette Referenzen von baugleichen oder bauähnlichen Geräten in Europa, nicht älter als 3 Jahre.

Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Siehe Verdingungsunterlagen.
Sonstige besondere Bedingungen:

— Die unter III.2 geforderten Unterlagen sind spätestens bis zu dem unter IV.3.4) genannten Termin vollständig vorzulegen,

— Bitte senden Sie die geforderten Unterlagen per E-Mail an Einkauf@zv.fraunhofer.de. Vermerken Sie bitte die Bezugsnummer BM 045/236939/CL in der Betreffzeile.

Verfahren
Begründung des beschleunigten Verfahrens: Dringender Projektbedarf.
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Objektive Auswahlkriterien: Gemäß Eignungskriterien.
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Carla Lönz
Internetadresse: www.fraunhofer.de 🌏
Name: Fraunhofer Gesellschaft
Postanschrift: Nur Elektronisch
Kontaktperson: BM 045/236939/CL
Frau Lönz
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: BM 045/236939/CL

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Str. 16
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53175
Land: Deutschland 🇩🇪
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. § 101a GWB informiert.

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstr. 2
Quelle: OJS 2011/S 181-294646 (2011-09-16)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2012-03-09)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer-Gesellschaft e.V.
Postanschrift: Hansastr. 27 c

Referenz
Daten
Absendedatum: 2012-03-09 📅
Veröffentlichungsdatum: 2012-03-14 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2012/S 51-082254
Verweist auf Bekanntmachung: 2011/S 181-294646
ABl. S-Ausgabe: 51

Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: BM 045/236939/cl

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Preis (45)
2. Technische Ausführung gem. Spezifikation (45)
3. Lieferzeit (10)

Auftragsvergabe

1️⃣
Datum des Vertragsabschlusses: 2012-02-24 📅
Name: Oxford Instruments GmbH
Postanschrift: Otto-von-Guericke-Ring 10
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land: Deutschland 🇩🇪

2️⃣
Name: Oxford Instruments
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 4

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1 genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. § 101a GWB informiert.

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstraße 2
Quelle: OJS 2012/S 051-082254 (2012-03-09)

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