Plasmaanlage zum Trockenätzen

Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Für unsere Anwendungen benötigen wir eine Cluster bestehend aus einem automatischen Transfersystem für Siliciumscheiben, zwei separaten Kammern für das Ätzen von Dielektrika und metallischen Schichten und einem Modul zum anschließenden Abziehen des Photolacks in Sauerstoffatmosphäre. Um den Anforderungen gerecht zu werden, sind für die Ätzkammern Dielektrika und Metalle ICP-Quellen nötig. Da wir vor allem in der Forschung tätig sind, müssen ziemlich unterschiedliche Ätzrezepte in ein und derselben Kammer gefahren werden. Daher ist eine hohe Flexibilität der Module gefordert.
Ein weiterer bedeutender Faktor, besonders in der Forschung, ist die Flexibilität beim Transport von Siliciumscheiben unterschiedlicher Durchmesser. So sollen Scheiben von 100 bis 200 mm transportiert und geätzt werden können. Deshalb soll ein einfacher und schneller Tausch der Chucks oder ein ausgeklügeltes Klemmen der Scheiben möglich sein. Scheibendurchsatz ist dagegen nicht von übergeordneter Bedeutung.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-09-02. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-07-27.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Oxford Instruments GmbH Plasma Technology

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Wie?

• Industrielle Maschinen

Wo?

• Mittelfranken › Erlangen-Höchstadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2011-07-27	Auftragsbekanntmachung
2011-12-13	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2011-07-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Menge oder Umfang: 1 Stück.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 891205-3229 📞
Fax: +49 891205-7548 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2011-07-27 📅
Einreichungsfrist: 2011-09-02 📅
Veröffentlichungsdatum: 2011-07-29 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2011/S 144-239241
ABl. S-Ausgabe: 144
Zusätzliche Informationen

Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (§§ 19, 22 EG).

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Ein weiterer bedeutender Faktor, besonders in der Forschung, ist die Flexibilität beim Transport von Siliciumscheiben unterschiedlicher Durchmesser. So sollen Scheiben von 100 bis 200 mm transportiert und geätzt werden können. Deshalb soll ein einfacher und schneller Tausch der Chucks oder ein ausgeklügeltes Klemmen der Scheiben möglich sein. Scheibendurchsatz ist dagegen nicht von übergeordneter Bedeutung.

Es werden Varianten akzeptiert ✅
Dauer: 6 Monate
Referenznummer: 879/211289/CL
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Erlangen.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: Firmenprofil.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

— Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre,

— Eigenerklärung über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Sozialabgaben,

— Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde.

Technische und berufliche Fähigkeiten: — komplette Referenzen von vergleichbaren Projekten, nicht älter als 3 Jahre.
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Siehe Verdingungsunterlagen.
Sonstige besondere Bedingungen:

— Die unter III.2 geforderten Unterlagen sind spätestens bis zu dem unter IV 3.4 genannten Termin vollständig vorzulegen.

Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 6
Objektive Auswahlkriterien: Gemäß Eignungskriterien.
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Kontakt
Kontaktperson: BM: 879/211289/Cl
Carla Lönz
Internetadresse: www.fraunhofer.de 🌏
Name: Fraunhofer Gesellschaft
Postanschrift: Nur Elektronisch
Kontaktperson: BM: 879/211289/CL
Frau Lönz
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: 879/211289/CL

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Str. 16
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53175
Land: Deutschland 🇩🇪
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I 1 genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 107 Abs. 3 Satz1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. § 101a GWB informiert.

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstr. 2
Quelle: OJS 2011/S 144-239241 (2011-07-27)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2011-12-13)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Kontakt
Telefon: +49 8912053229 📞
Fax: +49 8912057548 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2011-12-13 📅
Veröffentlichungsdatum: 2011-12-15 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2011/S 241-390304
Verweist auf Bekanntmachung: 2011/S 144-239241
ABl. S-Ausgabe: 241

Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: BM 879/211289/cl

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Technical (40)
2. Price (40)
3. Support and delivery (20)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2011-12-05 📅
Name: Oxford Instruments GmbH Plasma Technology
Postanschrift: Postfach 45 09
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65035
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1 genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. § 101a GWB informiert.

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Quelle: OJS 2011/S 241-390304 (2011-12-13)

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