Umbau Nasschemie-Anlage
— Halbautomatische Anlage zum Reinigen von 100, 150 und 200 mm Siliciumscheiben,
— Bau einer Nassbank zum Entwickeln von Photolack,
— Bau einer Absaughaube über bereits vorhandener Ätzbank,
— Aktualisierung einer vorhandenen Caro und BOE Reinigungsbank,
— Aktualisierung einer vorhandenen DI-Wasser Spülbank und Abbau bzw. Umbau einer vorhandenen Nassbank zum Ansetzen verschiedener Reinigungs- und Ätzchemikalien auf Basis von Bechergläsern bestehend aus 3 Prozess- und 3 DI-Wasserbecken,
— Demontage einer vorhandenen Reinigungsbank,
— Montage und Inbetriebnahme oben aufgeführter Anlagen und Nassbänke.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2012-02-16.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-12-16.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2011-12-16
|
Auftragsbekanntmachung
|
| 2012-04-12
|
Bekanntmachung über vergebene Aufträge
|