Wet Process Spin Station

Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Es wird eine neue bzw. refurbishte Naßätz- und Reinigungsanlage benötigt. In dieser Naßprozeß-Spinstation sollen 8“ (200 mm) Wafer (optional auch 9“ Fotomasken) gereinigt und geätzt werden.
Die unterschiedlichen Säuren und Chemikalien werden durch einen Satz von Düsen (nozzles) auf die Wafer-Oberfläche gepumpt. Dabei rotiert der Wafer, angetrieben durch einen Spinner-Motor. Das gesamte System besteht aus mindestens einer Prozeßkammer und wird manuell mit einem Wafer pro Prozeß beladen.
Das System soll vom Anbieter im IMS-Reinraum "stand-alone-tool" oder "through the wall" installiert werden und muss konform sein zu CMOS-kompatiblen Reinraum-Bedingungen (Klasse 10).
Das System muß einen komplett sicheren Prozeßablauf bieten ohne jedes Risiko für die Gesundheit des Operators.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-06-08. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-05-02.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2011-05-02 Auftragsbekanntmachung
2011-12-07 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2011-05-02)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Menge oder Umfang:
“1 Stück.”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 891205-3229 📞
Fax: +49 891205-7548 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2011-05-02 📅
Einreichungsfrist: 2011-06-08 📅
Veröffentlichungsdatum: 2011-05-05 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2011/S 87-141578
ABl. S-Ausgabe: 87
Zusätzliche Informationen

“Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (§§ 19, 22 EG).”

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Es wird eine neue bzw. refurbishte Naßätz- und Reinigungsanlage benötigt. In dieser Naßprozeß-Spinstation sollen 8“ (200 mm) Wafer (optional auch 9“...”    Mehr anzeigen

“Die unterschiedlichen Säuren und Chemikalien werden durch einen Satz von Düsen (nozzles) auf die Wafer-Oberfläche gepumpt. Dabei rotiert der Wafer,...”    Mehr anzeigen
Mehr anzeigen (2)
“Das System soll vom Anbieter im IMS-Reinraum "stand-alone-tool" oder "through the wall" installiert werden und muss konform sein zu CMOS-kompatiblen...”    Mehr anzeigen

“Das System muß einen komplett sicheren Prozeßablauf bieten ohne jedes Risiko für die Gesundheit des Operators.”
Es werden Varianten akzeptiert
Beschreibung der Optionen:
“Optional soll auch die Anlage für 9" Photomasken angeboten werden.”
Dauer: 4 Monate
Referenznummer: BM 838/215682/CL
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Duisburg.”

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
“— Firmenprofil.”
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
“— Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre,”

“— Eigenerklärung über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Sozialabgaben,”
Mehr anzeigen (1)
“— Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde.”
Technische und berufliche Fähigkeiten:
“— komplette Referenzen von vergleichbaren Anlagen, nicht älter als 3 Jahre.”
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:
“Siehe Verdingungsunterlagen.”
Sonstige besondere Bedingungen:
“— Die unter III.2) geforderten Unterlagen sind spätestens bis zu dem unter IV.3.4) genannten Termin vollständig vorzulegen. Unvollständige Unterlagen führen...”    Mehr anzeigen

“— Bitte senden Sie die geforderten Unterlagen per E-Mail an Einkauf@zv.fraunhofer.de. Vermerken Sie bitte die Bezugsnummer BM 838/215682/CL in der Betreffzeile.”    Mehr anzeigen

Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Kontakt
Kontaktperson: Carla Lönz
Internetadresse: www.fraunhofer.de 🌏
Name: Fraunhofer Gesellschaft
Postanschrift: Nur Elektronisch
Postleitzahl: 80686
Kontaktperson: BM 838/215682/CL
Frau Lönz

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Str. 16
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53175
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle...”    Mehr anzeigen
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstr. 2
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53175
Quelle: OJS 2011/S 087-141578 (2011-05-02)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2011-12-07)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges

Referenz
Daten
Absendedatum: 2011-12-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2011-12-13 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2011/S 239-386129
Verweist auf Bekanntmachung: 2011/S 87-141578
ABl. S-Ausgabe: 239

Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: BM 838/215682/cl

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Preis (35)
2. Technische Ausführung (50)
3. Service und Garantie (10)
4. Lieferzeit (5)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2011-12-02 📅
Name: ATMvision AG
Postanschrift: Josef-Schuettler-Str. 2
Postort: Singen (Hohentwiel)
Postleitzahl: 78224
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 4

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle...”    Mehr anzeigen
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Quelle: OJS 2011/S 239-386129 (2011-12-07)