Wet Process Spin Station

Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Es wird eine neue bzw. refurbishte Naßätz- und Reinigungsanlage benötigt. In dieser Naßprozeß-Spinstation sollen 8“ (200 mm) Wafer (optional auch 9“ Fotomasken) gereinigt und geätzt werden.
Die unterschiedlichen Säuren und Chemikalien werden durch einen Satz von Düsen (nozzles) auf die Wafer-Oberfläche gepumpt. Dabei rotiert der Wafer, angetrieben durch einen Spinner-Motor. Das gesamte System besteht aus mindestens einer Prozeßkammer und wird manuell mit einem Wafer pro Prozeß beladen.
Das System soll vom Anbieter im IMS-Reinraum "stand-alone-tool" oder "through the wall" installiert werden und muss konform sein zu CMOS-kompatiblen Reinraum-Bedingungen (Klasse 10).
Das System muß einen komplett sicheren Prozeßablauf bieten ohne jedes Risiko für die Gesundheit des Operators.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-06-08. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-05-02.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• ATMvision AG

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Wie?

• Industrielle Maschinen

Wo?

• Düsseldorf › Duisburg, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2011-05-02	Auftragsbekanntmachung
2011-12-07	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2011-05-02)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Menge oder Umfang: 1 Stück.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 891205-3229 📞
Fax: +49 891205-7548 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2011-05-02 📅
Einreichungsfrist: 2011-06-08 📅
Veröffentlichungsdatum: 2011-05-05 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2011/S 87-141578
ABl. S-Ausgabe: 87
Zusätzliche Informationen

Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (§§ 19, 22 EG).

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Es wird eine neue bzw. refurbishte Naßätz- und Reinigungsanlage benötigt. In dieser Naßprozeß-Spinstation sollen 8“ (200 mm) Wafer (optional auch 9“ Fotomasken) gereinigt und geätzt werden.

Die unterschiedlichen Säuren und Chemikalien werden durch einen Satz von Düsen (nozzles) auf die Wafer-Oberfläche gepumpt. Dabei rotiert der Wafer, angetrieben durch einen Spinner-Motor. Das gesamte System besteht aus mindestens einer Prozeßkammer und wird manuell mit einem Wafer pro Prozeß beladen.

Das System soll vom Anbieter im IMS-Reinraum "stand-alone-tool" oder "through the wall" installiert werden und muss konform sein zu CMOS-kompatiblen Reinraum-Bedingungen (Klasse 10).

Das System muß einen komplett sicheren Prozeßablauf bieten ohne jedes Risiko für die Gesundheit des Operators.

Es werden Varianten akzeptiert ✅
Beschreibung der Optionen: Optional soll auch die Anlage für 9" Photomasken angeboten werden.
Dauer: 4 Monate
Referenznummer: BM 838/215682/CL
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Duisburg.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: — Firmenprofil.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

— Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre,

— Eigenerklärung über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Sozialabgaben,

— Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde.

Technische und berufliche Fähigkeiten: — komplette Referenzen von vergleichbaren Anlagen, nicht älter als 3 Jahre.
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Siehe Verdingungsunterlagen.
Sonstige besondere Bedingungen:

— Die unter III.2) geforderten Unterlagen sind spätestens bis zu dem unter IV.3.4) genannten Termin vollständig vorzulegen. Unvollständige Unterlagen führen zum Ausschluss,

— Bitte senden Sie die geforderten Unterlagen per E-Mail an Einkauf@zv.fraunhofer.de. Vermerken Sie bitte die Bezugsnummer BM 838/215682/CL in der Betreffzeile.

Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Objektive Auswahlkriterien: Gemäß Eignungskriterien.
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Kontakt
Kontaktperson: Carla Lönz
Internetadresse: www.fraunhofer.de 🌏
Name: Fraunhofer Gesellschaft
Postanschrift: Nur Elektronisch
Kontaktperson: BM 838/215682/CL
Frau Lönz
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: BM 838/215682/CL

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Str. 16
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53175
Land: Deutschland 🇩🇪
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. § 101a GWB informiert.

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstr. 2
Quelle: OJS 2011/S 087-141578 (2011-05-02)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2011-12-07)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges

Referenz
Daten
Absendedatum: 2011-12-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2011-12-13 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2011/S 239-386129
Verweist auf Bekanntmachung: 2011/S 87-141578
ABl. S-Ausgabe: 239

Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: BM 838/215682/cl

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Preis (35)
2. Technische Ausführung (50)
3. Service und Garantie (10)
4. Lieferzeit (5)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2011-12-02 📅
Name: ATMvision AG
Postanschrift: Josef-Schuettler-Str. 2
Postort: Singen (Hohentwiel)
Postleitzahl: 78224
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 4

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 107 Abs. 3 Satz1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. § 101a GWB informiert.

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Quelle: OJS 2011/S 239-386129 (2011-12-07)

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