Wet Process Spin Station
Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Es wird eine neue bzw. refurbishte Naßätz- und Reinigungsanlage benötigt. In dieser Naßprozeß-Spinstation sollen 8“ (200 mm) Wafer (optional auch 9“ Fotomasken) gereinigt und geätzt werden.
Die unterschiedlichen Säuren und Chemikalien werden durch einen Satz von Düsen (nozzles) auf die Wafer-Oberfläche gepumpt. Dabei rotiert der Wafer, angetrieben durch einen Spinner-Motor. Das gesamte System besteht aus mindestens einer Prozeßkammer und wird manuell mit einem Wafer pro Prozeß beladen.
Das System soll vom Anbieter im IMS-Reinraum "stand-alone-tool" oder "through the wall" installiert werden und muss konform sein zu CMOS-kompatiblen Reinraum-Bedingungen (Klasse 10).
Das System muß einen komplett sicheren Prozeßablauf bieten ohne jedes Risiko für die Gesundheit des Operators.
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2011-06-08. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2011-05-02.
AnbieterDie folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer? Wie? Wo?| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2011-05-02 | Auftragsbekanntmachung |
| 2011-12-07 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Menge oder Umfang:
“1 Stück.”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦
Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 891205-3229 📞
Fax: +49 891205-7548 📠
Referenz
Daten
Absendedatum: 2011-05-02 📅
Einreichungsfrist: 2011-06-08 📅
Veröffentlichungsdatum: 2011-05-05 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2011/S 87-141578
ABl. S-Ausgabe: 87
Zusätzliche Informationen
“Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (§§ 19, 22 EG).”
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Es wird eine neue bzw. refurbishte Naßätz- und Reinigungsanlage benötigt. In dieser Naßprozeß-Spinstation sollen 8“ (200 mm) Wafer (optional auch 9“...”
“Die unterschiedlichen Säuren und Chemikalien werden durch einen Satz von Düsen (nozzles) auf die Wafer-Oberfläche gepumpt. Dabei rotiert der Wafer,...”
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“Das System soll vom Anbieter im IMS-Reinraum "stand-alone-tool" oder "through the wall" installiert werden und muss konform sein zu CMOS-kompatiblen...”
“Das System muß einen komplett sicheren Prozeßablauf bieten ohne jedes Risiko für die Gesundheit des Operators.”
Beschreibung der Optionen:
“Optional soll auch die Anlage für 9" Photomasken angeboten werden.”
Dauer: 4 Monate
Referenznummer: BM 838/215682/CL
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Duisburg.”
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
“— Firmenprofil.”
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
“— Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre,”
“— Eigenerklärung über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Sozialabgaben,”
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“— Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde.”
“— komplette Referenzen von vergleichbaren Anlagen, nicht älter als 3 Jahre.”
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:
“Siehe Verdingungsunterlagen.”
Sonstige besondere Bedingungen:
“— Die unter III.2) geforderten Unterlagen sind spätestens bis zu dem unter IV.3.4) genannten Termin vollständig vorzulegen. Unvollständige Unterlagen führen...”
“— Bitte senden Sie die geforderten Unterlagen per E-Mail an Einkauf@zv.fraunhofer.de. Vermerken Sie bitte die Bezugsnummer BM 838/215682/CL in der Betreffzeile.”
Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Kontakt
Kontaktperson: Carla Lönz
Internetadresse: www.fraunhofer.de 🌏
Name: Fraunhofer Gesellschaft
Postanschrift: Nur Elektronisch
Postleitzahl: 80686
Kontaktperson: BM 838/215682/CL
Frau Lönz
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Str. 16
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53175
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle...”
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstr. 2
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53175
Quelle: OJS 2011/S 087-141578 (2011-05-02)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Referenz
Daten
Absendedatum: 2011-12-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2011-12-13 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2011/S 239-386129
Verweist auf Bekanntmachung: 2011/S 87-141578
ABl. S-Ausgabe: 239
Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: BM 838/215682/cl
Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Preis (35)
2. Technische Ausführung (50)
3. Service und Garantie (10)
4. Lieferzeit (5)
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2011-12-02 📅
Name: ATMvision AG
Postanschrift: Josef-Schuettler-Str. 2
Postort: Singen (Hohentwiel)
Postleitzahl: 78224
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 4
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1) genannten Stelle...”
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Quelle: OJS 2011/S 239-386129 (2011-12-07)
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