ALD-Anlage

Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Eine für die Photovoltaik Atomlagenabscheideanlage (Atomic Layer Deposition; ALD) zur Beschichtung von 3D-nanostrukturierten Materialien mit der unter Einwirkung des Precursormaterials Trimethylaluminium in Verbindung mit 1.) Wasser (H2O) und/oder 2.) Ozon (O3) dünne Al2O3 Schichten abgeschieden werden sollen. Unverzichtbar ist dabei eine Reaktorkammer, die eine simultan beidseitige Beschichtung von quadratischen 6“ bzw. runden 8“ Wafern erlaubt.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2012-03-01. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2012-01-09.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2012-01-09 Auftragsbekanntmachung
2012-05-10 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2012-01-09)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Menge oder Umfang: 1 Stück
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 891205-3229 📞
Fax: +49 891205-7548 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2012-01-09 📅
Einreichungsfrist: 2012-03-01 📅
Veröffentlichungsdatum: 2012-01-11 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2012/S 6-008975
ABl. S-Ausgabe: 6
Zusätzliche Informationen
Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (§§ 19, 22 EG).

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Eine für die Photovoltaik Atomlagenabscheideanlage (Atomic Layer Deposition; ALD) zur Beschichtung von 3D-nanostrukturierten Materialien mit der unter Einwirkung des Precursormaterials Trimethylaluminium in Verbindung mit 1.) Wasser (H2O) und/oder 2.) Ozon (O3) dünne Al2O3 Schichten abgeschieden werden sollen. Unverzichtbar ist dabei eine Reaktorkammer, die eine simultan beidseitige Beschichtung von quadratischen 6“ bzw. runden 8“ Wafern erlaubt.
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Es werden Varianten akzeptiert
Beschreibung der Optionen: Optional ist Zubehör für die Anlage anzubieten.
Dauer: 5 Monate
Referenznummer: BM 069/230304/CL
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Halle/Saale.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: — Firmenprofil.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
— Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre,
— Eigenerklärung über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Sozialabgaben,
— Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde.
Technische und berufliche Fähigkeiten: — Komplette Referenzen von vergleichbaren Anlagen, nicht älter als 3 Jahre.
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Siehe Verdingungsunterlagen.
Sonstige besondere Bedingungen:
Die unter III.2 geforderten Unterlagen sind spätestens bis zu dem unter IV 3.4 genannten Termin vollständig vorzulegen.

Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2012-04-26 📅
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Carla Lönz
Internetadresse: www.fraunhofer.de 🌏
Name: Fraunhofer Gesellschaft
Postanschrift: Nur Elektronisch
Kontaktperson: BM 069/230304/CL
Frau Lönz
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: BM 069/230304/CL

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Str. 16
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53175
Land: Deutschland 🇩🇪
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I 1 genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §107 Abs. 3 Satz1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. §101a GWB informiert.
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Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstr. 2
Quelle: OJS 2012/S 006-008975 (2012-01-09)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2012-05-10)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer-Gesellschaft e.V.
Postanschrift: Hansastr. 27 c

Referenz
Daten
Absendedatum: 2012-05-10 📅
Veröffentlichungsdatum: 2012-05-12 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2012/S 91-149672
Verweist auf Bekanntmachung: 2012/S 6-008975
ABl. S-Ausgabe: 91

Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: BM069/230304/cl
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Hall / Saale.

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Preis (35)
2. Technische Ausführung (40)
3. Energieeffizienz (10)
4. Service, Lieferzeit, Erweiterbarkeit (15)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2012-04-24 📅
Name: Oxford Instruments GmbH Plasma Technology
Postanschrift: Postfach 4509
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65035
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Quelle: OJS 2012/S 091-149672 (2012-05-10)