Dünnschichtverkapselungsanlage, ALD

Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Zur Integration in die Prozesslinie im Reinraum soll eine Dünnschichtverkapselungstechnologie beschafft werden. Es istl eine geeignete Schnittstelle mit der bestehenden Inertanlage von M.Braun zu definieren, die den Transfer von Proben ohne Unterbrechung der Inertatmosphäre in die Abscheidekammer der ALD erlaubt. Die Schnittstelle soll so gestaltet werden, dass die Bedienung leicht möglich ist (auch für kleine Operateure). Da es sich bei dieser Anlage um eine Forschungsanlage handelt, sollte das System eine genügende Flexibilität aufweisen, um künftig ggf. notwendige Änderungen in der Systemkonfiguration vornehmen zu können. Insbesondere sollten die Anzahl möglicher Quellen für die Beschichtung erweiterbar sein. Sollte sich zum jetzigen Zeitpunkt die Integration einer Plasma-unterstützten ALD noch nicht realisieren lassen, so sollte diese Option nachrüstbar sein. Ebenfalls sollte die Verwendung von Mehrfachprobenhalter nachrüstbar sein.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2012-05-15. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2012-04-05.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • Beneq Oy

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Wie?

• • Industrielle Maschinen