Dünnschichtverkapselungsanlage, ALD

Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Zur Integration in die Prozesslinie im Reinraum soll eine Dünnschichtverkapselungstechnologie beschafft werden. Es istl eine geeignete Schnittstelle mit der bestehenden Inertanlage von M.Braun zu definieren, die den Transfer von Proben ohne Unterbrechung der Inertatmosphäre in die Abscheidekammer der ALD erlaubt. Die Schnittstelle soll so gestaltet werden, dass die Bedienung leicht möglich ist (auch für kleine Operateure). Da es sich bei dieser Anlage um eine Forschungsanlage handelt, sollte das System eine genügende Flexibilität aufweisen, um künftig ggf. notwendige Änderungen in der Systemkonfiguration vornehmen zu können. Insbesondere sollten die Anzahl möglicher Quellen für die Beschichtung erweiterbar sein. Sollte sich zum jetzigen Zeitpunkt die Integration einer Plasma-unterstützten ALD noch nicht realisieren lassen, so sollte diese Option nachrüstbar sein. Ebenfalls sollte die Verwendung von Mehrfachprobenhalter nachrüstbar sein.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2012-05-15. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2012-04-05.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2012-04-05 Auftragsbekanntmachung
2012-10-22 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2012-04-05)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Menge oder Umfang:
“1 Stück”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 891205-3229 📞
Fax: +49 891205-7548 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2012-04-05 📅
Einreichungsfrist: 2012-05-15 📅
Veröffentlichungsdatum: 2012-04-07 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2012/S 69-114205
ABl. S-Ausgabe: 69
Zusätzliche Informationen

“Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (§§ 19, 22 EG).”
Quelle: OJS 2012/S 069-114205 (2012-04-05)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2012-10-22)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer-Gesellschaft e. V.
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de/ 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧

Referenz
Daten
Absendedatum: 2012-10-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2012-10-25 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2012/S 206-338291
Verweist auf Bekanntmachung: 2012/S 69-114205
ABl. S-Ausgabe: 206
Quelle: OJS 2012/S 206-338291 (2012-10-22)