Fertigung und Lieferung von 20 Verfahrtische für FLASH II
Für die Positionierung von Elektromagneten (sogenannte TQG-Magnete) werden 20 bis 22 identische Verfahrtische benötigt. Jeder dieser Verfahrtische muss den aufgesetzten TQG-Magneten in einer horizontalen und einer vertikalen Achse verfahren können. An jeder der beiden Achsen muss ein absolut messendes Encodersystem vorhanden sein, das eine Ermittlung der Magnetposition jederzeit – z.B. auch nach einem Stromausfall – ermöglicht, ohne dass zuvor eine Verfahrbewegung des Tisches erforderlich ist. Weiterhin dürfen sich im Falle eines Stromausfalls die Verfahrtische nicht bewegen, da sonst unter Umständen die durch den Magneten führende Vakuumkammer beschädigt würde. Gegebenenfalls ist deshalb ein Einsatz von Bremsen vorzusehen.
Aus Gründen der Langzeitstabilität wird eine einseitige seitliche Montage des TQG an einem vertikalen Verfahrschlitten ausgeschlossen.
Masse des zu bewegenden Magneten: 20 kg.
Abmessung des Magneten LxBxH: 125 mm x 250 mm x 220 mm.
Die im Folgenden angegebenen Kriterien gelten für beide Achsen gleich.
Verfahrweg: ≥ 5 mm.
Minimale Schrittweite: ≤ 1 μm.
Positionsgenauigkeit des Encodersystems (Toleranz): ≤ 5 μm.
Auflösung des Encodersystems: ≤ 1 μm.
Tolerierte Bewegung des Magneten im Falle eines Stromausfalls: 50 μm.
Langzeitstabilität der Magnetposition: besser 1 μm / Woche.
Maximale Positionsabweichung senkrecht zur verfahrenden Achse.
Über den gesamten Verfahrbereich: ≤ 5 μm.
Maximale Verdrehung über den gesamten Verfahrbereich: ≤ 15 μrad.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-01-28.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2012-12-05.
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Geschichte der Beschaffung
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Dokument |
| 2012-12-05
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Auftragsbekanntmachung
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