Gebrauchte Einzelscheibenreinigungsanlage Scrubber
6-" Scrubber zur beidseitigen Reinigung von Wafern durch Bürsten und Wasserspray, zusätzlich Waferkantenreinigung durch Bürsten soll vor allem große Partikel entfernen. Eine Vier-Kammer-Anlage wird bevorzugt, um saubere Trennung zwischen Vorder-und Rückseite sowie FeoL und BeoL zu ermöglichen. Die Anlage soll einen späteren Umbau auf 8" ermöglichen.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2012-12-12.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2012-11-12.
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
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Dokument |
| 2012-11-12
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Auftragsbekanntmachung
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