ICP-Trockenätzanlage
Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
Trockenätzeinrichung für die Herstellung vertikaler Strukturen in Halbleiterschichten, vorrangig Gruppe-III-Nitride, nach dem Inductively Coupled Plasma (ICP)-Verfahren unter Nutzung von chlorhaltigen Gasen für hochstabile und flexible Forschungsanwendungen für mind. 2-Zoll und 4-Zoll-Substrate.
DeadlineDie Frist für den Eingang der Angebote war 2012-02-16. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2012-01-11.
AnbieterDie folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2012-01-11 | Auftragsbekanntmachung |
| 2012-04-04 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Auftragsbekanntmachung (2012-01-11)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion
Menge oder Umfang:
“296 000,00”
Gesamtwert des Auftrags: 296 000,00 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion 📦
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
Postanschrift: Universitätsplatz 2
Postleitzahl: 39106
Postort: Magdeburg
Kontakt
Internetadresse: http://www.ovgu.de 🌏
E-Mail: janina.kuentzel@ovgu.de 📧
Telefon: +49 391-6712264 📞
Fax: +49 391-6712241 📠
Referenz
Daten
Absendedatum: 2012-01-11 📅
Einreichungsfrist: 2012-02-16 📅
Veröffentlichungsdatum: 2012-01-12 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2012/S 7-010792
ABl. S-Ausgabe: 7
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Trockenätzeinrichung für die Herstellung vertikaler Strukturen in Halbleiterschichten, vorrangig Gruppe-III-Nitride, nach dem Inductively Coupled Plasma...”
Mehr anzeigen
Referenznummer: ICP-Trockenätzanlage
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Magdeburg.”
Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2012-03-12 📅
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Technische Wertigkeit (70)
2. Preis (20)
3. Service (10)
Languages
Language: Deutsch 🗣️
Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Abt. Haushaltsvollzug, Beschaffungswesen
Janina Küntzel
Internetadresse: www.ovgu.de 🌏
Referenz
Kennungen
Reference number attributed by the contracting authority: ICP-Trockenätzanlage
Quelle: OJS 2012/S 007-010792 (2012-01-11)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion
Menge oder Umfang:
“296 000,00”
Gesamtwert des Auftrags: 296 000,00 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion 📦
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
Postanschrift: Universitätsplatz 2
Postleitzahl: 39106
Postort: Magdeburg
Kontakt
Internetadresse: http://www.ovgu.de 🌏
E-Mail: janina.kuentzel@ovgu.de 📧
Telefon: +49 391-6712264 📞
Fax: +49 391-6712241 📠
Referenz
Daten
Absendedatum: 2012-01-11 📅
Einreichungsfrist: 2012-02-16 📅
Veröffentlichungsdatum: 2012-01-12 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2012/S 7-010792
ABl. S-Ausgabe: 7
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Trockenätzeinrichung für die Herstellung vertikaler Strukturen in Halbleiterschichten, vorrangig Gruppe-III-Nitride, nach dem Inductively Coupled Plasma...”
Referenznummer: ICP-Trockenätzanlage
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Magdeburg.”
Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2012-03-12 📅
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Technische Wertigkeit (70)
2. Preis (20)
3. Service (10)
Languages
Language: Deutsch 🗣️
Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Abt. Haushaltsvollzug, Beschaffungswesen
Janina Küntzel
Internetadresse: www.ovgu.de 🌏
Referenz
Kennungen
Reference number attributed by the contracting authority: ICP-Trockenätzanlage
Quelle: OJS 2012/S 007-010792 (2012-01-11)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2012-04-04)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 260 773 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, Abt. Beschaffungswesen
Kontakt
E-Mail: janina.kuentzel@ovgu.de 📧
Telefon: +49 3916712264 📞
Fax: +49 3916712241 📠
Referenz
Daten
Absendedatum: 2012-04-04 📅
Veröffentlichungsdatum: 2012-04-12 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2012/S 71-117537
Verweist auf Bekanntmachung: 2012/S 7-010792
ABl. S-Ausgabe: 71
Zusätzliche Informationen
“I.2) Art des öffentlichen Aufftraggebers und Haupttätigkeit(en): Sonstiges.”
Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 3. Service und Support (10)
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2012-03-12 📅
Name: Oxford Instruments GmbH, Plasma Technology
Postanschrift: Otto-von Guericke-Ring 10
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: plasma@oxford.de 📧
Internetadresse: www.oxfordplasma.de 🌏
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Referenz
Kennungen
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2012/S 7-010792
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: 2. Vergabekammer beim Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Ernst-Kamieth-Straße 2
Postort: Halle
Postleitzahl: 06112
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: viola.ueberfeldt@lvwa.sachsen-anhalt.de 📧
Telefon: +49 345514-1536 📞
Internetadresse: www.lvwa.sachsen-anhalt.de 🌏
Fax: +49 345514-1115 📠
Quelle: OJS 2012/S 071-117537 (2012-04-04)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 260 773 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, Abt. Beschaffungswesen
Kontakt
E-Mail: janina.kuentzel@ovgu.de 📧
Telefon: +49 3916712264 📞
Fax: +49 3916712241 📠
Referenz
Daten
Absendedatum: 2012-04-04 📅
Veröffentlichungsdatum: 2012-04-12 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2012/S 71-117537
Verweist auf Bekanntmachung: 2012/S 7-010792
ABl. S-Ausgabe: 71
Zusätzliche Informationen
“I.2) Art des öffentlichen Aufftraggebers und Haupttätigkeit(en): Sonstiges.”
Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 3. Service und Support (10)
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2012-03-12 📅
Name: Oxford Instruments GmbH, Plasma Technology
Postanschrift: Otto-von Guericke-Ring 10
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: plasma@oxford.de 📧
Internetadresse: www.oxfordplasma.de 🌏
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Referenz
Kennungen
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2012/S 7-010792
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: 2. Vergabekammer beim Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Ernst-Kamieth-Straße 2
Postort: Halle
Postleitzahl: 06112
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: viola.ueberfeldt@lvwa.sachsen-anhalt.de 📧
Telefon: +49 345514-1536 📞
Internetadresse: www.lvwa.sachsen-anhalt.de 🌏
Fax: +49 345514-1115 📠
Quelle: OJS 2012/S 071-117537 (2012-04-04)
Neue Beschaffungen in verwandten Kategorien 🆕