Ionenstrahlätzanlage
Lieferung und funktionsbereite Aufstellung einer reaktivgasbeständigen (insbesondere Fluor) FuE-Ionenstrahlätzanlage zur Bearbeitung von Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm und einer maximalen Dicke von 50 mm. Die Anlage soll mit einem gekühlten Probenhalter ausgestattet sein, programmiert rotierbar bis 20 U/min und stufenlos schwenkbar zwischen 0°... 180° sein.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2012-11-01.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2012-09-20.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2012-09-20
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Auftragsbekanntmachung
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| 2016-04-15
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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