Kauf einer kombinierten PECVD/PVD - Anlage für Mehrfach- und Multilagen (PVD-PECVD) im Kombibetrieb mit definiertem Prozess, um Mehrfach- und Multilagen im Kombibetrieb herzustellen

NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut an der Universität Tübingen

Kauf einer kombinierten PECVD/PVD - Anlage für Mehrfach- und Multilagen (PVD-PECVD) im Kombibetrieb mit definiertem Prozess, um Mehrfach- und Multilagen im Kombibetrieb herzustellen.
PECVD -Prozesse: SiOx, Diamond Like Carbon DLC.
PVD - Prozesse: Metalle (Cr, Ti, Al, W) rein, Metalloxide und Metallnitride.
Prozesskammer: Edelstahl, 1.4301 mit tauschbaren Verkleidungsblechen, Volumen ca. 350 l mit Sichtfenstern.
PVD: 2 Sputtertargets für leit- und nichtleitfähige Targets (RF-Sputtern) Nitride - Carbide und Metall - DLC möglich; Balanced Magnetron mit RF; Generator mit 13,56 MHz; automatische Impedanzanpassung.
1 Sputtertarget für reaktiv gesputterte Metall Nitride-Carbide-Oxide; Balanced Magnetron;
Bipolar gepulster Generator.
1 Sputtertarget für leitfähige Targets (DC-Sputtern); Balanced Magnetron, DC-Generator.
Shutter-Systeme am Target zum "Beschichtungsschutz" und Blindsputtern/Reinigung des Targets.
PECVD: 13,56 MHz, eingekoppelt über eine drehbare, wassergekühlte Koaxialdurchführung;
Prozesskontrolle über PC-Steuerung;
8 Gaskanäle (MFC), 3 davon für Flüssigprecursoren;
Chemiefenster Pumpstand;
Arbeitsdruck: 0.1 - 10 Pa; erreichbarer Enddruck: < 0.0001 Pa;
Abluftausgang über DN KF 40 Flansch;
Beschichtungskarussell mit 2-fach und 1-fach Drehung (entnehmbar);
Heizung bis 250°C (Strahlungsheizung).
Prozessanforderung:
a) Kombination aus Metall/Metalloxid/Metallnitrid mit glasartigem Topcoat und einem Wasser-Kontaktwinkel von > 105°, einer Oberflächenenergie von < 21 mN/m (polarer Anteil < 1 mN/m);
b) reaktives DC-Sputtern von nanokolumnaren Titannitridschichten und Iridiumoxidschichten bei Prozessdrucken >1Pa zur Herstellung von Elektrodenschichten mit einer Grenzflächenkapazität von 1 mF/cm²;
c) DLC-Schichten im PECVD-Verfahren abgeschieden mit einer Schichtdickenhomogenität von 10 % über einer Kammerhöhe von 40 cm (in Rotation abgeschieden).

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2012-05-29. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2012-04-17.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2012-04-17 Auftragsbekanntmachung
2012-09-27 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2012-04-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut an der Universität Tübingen
Postanschrift: Markwiesenstraße 55
Postleitzahl: 72770
Postort: Reutlingen
Kontakt
Internetadresse: http://www.nmi.de 🌏
E-Mail: guenter.beck@nmi.de 📧
Telefon: +49 712151530-15 / -885 📞
Fax: +49 712151530-16 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2012-04-17 📅
Einreichungsfrist: 2012-05-29 📅
Veröffentlichungsdatum: 2012-04-20 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2012/S 77-126654
ABl. S-Ausgabe: 77

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Kauf einer kombinierten PECVD/PVD - Anlage für Mehrfach- und Multilagen (PVD-PECVD) im Kombibetrieb mit definiertem Prozess, um Mehrfach- und Multilagen im Kombibetrieb herzustellen.
PECVD -Prozesse: SiOx, Diamond Like Carbon DLC.
PVD - Prozesse: Metalle (Cr, Ti, Al, W) rein, Metalloxide und Metallnitride.
Prozesskammer: Edelstahl, 1.4301 mit tauschbaren Verkleidungsblechen, Volumen ca. 350 l mit Sichtfenstern.
PVD: 2 Sputtertargets für leit- und nichtleitfähige Targets (RF-Sputtern) Nitride - Carbide und Metall - DLC möglich; Balanced Magnetron mit RF; Generator mit 13,56 MHz; automatische Impedanzanpassung.
1 Sputtertarget für reaktiv gesputterte Metall Nitride-Carbide-Oxide; Balanced Magnetron;
Bipolar gepulster Generator.
1 Sputtertarget für leitfähige Targets (DC-Sputtern); Balanced Magnetron, DC-Generator.
Shutter-Systeme am Target zum "Beschichtungsschutz" und Blindsputtern/Reinigung des Targets.
PECVD: 13,56 MHz, eingekoppelt über eine drehbare, wassergekühlte Koaxialdurchführung;
Prozesskontrolle über PC-Steuerung;
8 Gaskanäle (MFC), 3 davon für Flüssigprecursoren;
Chemiefenster Pumpstand;
Arbeitsdruck: 0.1 - 10 Pa; erreichbarer Enddruck: < 0.0001 Pa;
Abluftausgang über DN KF 40 Flansch;
Beschichtungskarussell mit 2-fach und 1-fach Drehung (entnehmbar);
Heizung bis 250°C (Strahlungsheizung).
Prozessanforderung:
a) Kombination aus Metall/Metalloxid/Metallnitrid mit glasartigem Topcoat und einem Wasser-Kontaktwinkel von > 105°, einer Oberflächenenergie von < 21 mN/m (polarer Anteil < 1 mN/m);
b) reaktives DC-Sputtern von nanokolumnaren Titannitridschichten und Iridiumoxidschichten bei Prozessdrucken >1Pa zur Herstellung von Elektrodenschichten mit einer Grenzflächenkapazität von 1 mF/cm²;
c) DLC-Schichten im PECVD-Verfahren abgeschieden mit einer Schichtdickenhomogenität von 10 % über einer Kammerhöhe von 40 cm (in Rotation abgeschieden).
Referenznummer: INV 12046
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Markwiesenstr. 55, 72770 Reutlingen, DEUTSCHLAND.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
Vgl. § 7 Abs. 8 VOL/A-EG.
Aktueller Auszug aus dem Handelsregister oder Bundeszentralregister oder gleichwertiger Urkunde des Landes.
Eigenerklärung des Auftragnehmers, dass:
— weder ein Insolvenzverfahren oder vergleichbares Verfahren beantragt, eröffnet oder mangels Masse abgelehnt wurde,
— noch in Liquidation befindlich,
— noch mit Verpflichtungen von Steuern und Abgaben oder Beiträgen zur Sozialversicherung im Rückstand ist.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit: Vgl. § 6 Abs. 6a VOL/A-EG.
Mindeststandards: Erklärung über den Gesamtumsatz (o. Umsatzsteuer) der letzten 3 Jahre.
Technische und berufliche Fähigkeiten: Vgl. § 7 Abs. 3 VOL/A-EG.
Mindeststandards:
Nachweis der technischen Leistungsfähigkeit duch Beschreibung der technischen Ausrüstung, der Maßnahmen zur Sicherung der Qualität und der Forschungsmöglichkeit des Unternehmens (wünschenswert: Applikationslabor zum Test vergleichbarer Geräte).
Referenzen von wesentlichen, in den letzten 3 Jahren erbrachten vergleichbaren Geräteverkäufen.
Auftragsausführung
Geforderte Kautionen und Garantien: Vgl. § 18 VOL/B.
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:
Vgl. § 17 VOL/B.
Evtl. erforderliche Anzahlungen gegen unbefristete Bankgarantie eines Kreditinstituts mit erstem Sitz in Deutschland.
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Gesamtschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter.

Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 2
Höchstzahl der Bewerber: 3
Objektive Auswahlkriterien: Leistungsfähigeit gemäß Teilnahmebedingungen.
Datum der Absendung der Aufforderungen: 2012-06-12 📅
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Günter Beck/Thomas Schweikert
E-Mail: thomas.schweikert@nmi.de 📧
Adresse des Käuferprofils: http://www.nmi.de 🌏

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: INV 12046

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Baden-Württemberg [Regierungspräsidium Karlsruhe]
Postanschrift: Karl-Friedrich-Straße 17
Postort: Karlsruhe
Postleitzahl: 76133
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: poststelle@rpk.bwl.de 📧
Telefon: +49 721926-0 📞
Internetadresse: http://www.rp-karlsruhe.de/servlet/PB/menu/1159131/index.html 🌏
Fax: +49 721926-3985 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren: Siehe § 107 Abs. 3 Nr. 1-4 i.V.m. § 101a Abs. 1 u. § 114 Abs. 2 GWB.
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut an der Universität Tübingen
Postanschrift: Markwiesenstr. 55
Postort: Reutlingen
Postleitzahl: 72770
Telefon: +49 712151530-15 / -885 📞
Internetadresse: http://nmi.de 🌏
Fax: +49 712151530-16 📠
Quelle: OJS 2012/S 077-126654 (2012-04-17)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2012-09-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 432 790,00 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Postanschrift: Markwiesenstrasse 55
Kontakt
Telefon: +49 712151530-15 / 712151530-885 📞

Referenz
Daten
Absendedatum: 2012-09-27 📅
Veröffentlichungsdatum: 2012-10-02 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2012/S 189-310196
Verweist auf Bekanntmachung: 2012/S 77-126654
ABl. S-Ausgabe: 189

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Lieferpreis (30)
2. Lieferzeit (10)
3. Pumpstand (25)
4. Prozessgarantie (10)
5. Erreichbarkeit für Service (10)
6. Technische Flexibilität und Spezifikation (15)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2012-07-10 📅
Name: Plasma Electronic GmbH
Postanschrift: Otto-Lilienthal-Str. 2
Postort: Neuenburg
Postleitzahl: 79395
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: info@plasma-electronic.de 📧
Internetadresse: www.plasma-electronic.de 🌏
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Günter Beck / Thomas Schweikert

Ergänzende Informationen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Telefon: +49 712151530-15 / 712151530-885 📞
Quelle: OJS 2012/S 189-310196 (2012-09-27)
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