Laserdirektbelichter für Fest und Flüssigresiste
Ein Laser Direktbelichtungssystem für die Belichtung von photoempfindlichen Schichten auf großflächigen Substraten. Dieses System wird in erster Linie für die Entwicklung neuer Substrattechnologien für höchst-integrierte.
„System-in-Packages“ und „Wafer-Level-Packages“ verwendet. Daher muß die Maschine in der Lage sein, sowohl Leiterplattensubstrate als auch Wafer bearbeiten zu können.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2012-10-08.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2012-08-24.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum |
Dokument |
| 2012-08-24
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Auftragsbekanntmachung
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| 2012-11-08
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Bekanntmachung über vergebene Aufträge
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