Plasmaätzanlage

Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Vakuum-Trockenätzanlage für reaktives Ionenätzen (RIE) und/oder Plasmaätzen (PE) von Polymeren, Quarzglas, und anderer Siliziumverbindungen im Einzelbetrieb und Simultanbetrieb beider Elektroden.
— Direktbeladung ohne loadlock, Elektrodengröße,
— schnelle Probenwechselzeiten,
— RIE-, PE- und Simultanbetrieb beider Elektroden,
— Homogenität und Reproduzierbarkeit,
— Auslegung für Fluor-Gase,
— Installations- und Servicebedingungen, Reinraumkompatibilität.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2012-08-23. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2012-07-24.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• • Oxford Instruments GmbH Plasma Technology

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Wie?

• • Industrielle Maschinen

Wo?

• • Thüringen › Jena, Kreisfreie Stadt