Plasmaätzanlage

Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Vakuum-Trockenätzanlage für reaktives Ionenätzen (RIE) und/oder Plasmaätzen (PE) von Polymeren, Quarzglas, und anderer Siliziumverbindungen im Einzelbetrieb und Simultanbetrieb beider Elektroden.
— Direktbeladung ohne loadlock, Elektrodengröße,
— schnelle Probenwechselzeiten,
— RIE-, PE- und Simultanbetrieb beider Elektroden,
— Homogenität und Reproduzierbarkeit,
— Auslegung für Fluor-Gase,
— Installations- und Servicebedingungen, Reinraumkompatibilität.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2012-08-23. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2012-07-24.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2012-07-24 Auftragsbekanntmachung
2013-01-07 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2012-07-24)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Menge oder Umfang: 1 Stück
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 891205-3229 📞
Fax: +49 891205-7547 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2012-07-24 📅
Einreichungsfrist: 2012-08-23 📅
Veröffentlichungsdatum: 2012-07-27 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2012/S 143-239118
ABl. S-Ausgabe: 143
Zusätzliche Informationen
Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A § 22 EG.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Vakuum-Trockenätzanlage für reaktives Ionenätzen (RIE) und/oder Plasmaätzen (PE) von Polymeren, Quarzglas, und anderer Siliziumverbindungen im Einzelbetrieb und Simultanbetrieb beider Elektroden.
— Direktbeladung ohne loadlock, Elektrodengröße,
— schnelle Probenwechselzeiten,
— RIE-, PE- und Simultanbetrieb beider Elektroden,
— Homogenität und Reproduzierbarkeit,
— Auslegung für Fluor-Gase,
— Installations- und Servicebedingungen, Reinraumkompatibilität.
Es werden Varianten akzeptiert ✅
Dauer: 6 Monate
Referenznummer: BM 066/224062/CL
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Jena.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: — Firmenprofil.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
— Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre,
— Eigenerklärung über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Sozialabgaben,
— Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde,
— Eigenerklärung, dass nachweislich keine schweren Verfehlungen begangen wurden, die die Zuverlässigkeit als Bewerber in Frage stellen.
Technische und berufliche Fähigkeiten:
— Komplette Referenzen von vergleichbaren RIE/RP Systemen, die in ihrem tecnischen Stand dem gewünschten System entsprechen, mit Angabe des Standortes (vorzugsweise Deutschland),
— Nachweis mehrjähriger Betriebserfahrungen von angefragten Systemen.
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Siehe Verdingungsunterlagen.
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Selbstschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter.
Sonstige besondere Bedingungen:
Die unter III.2 geforderten Unterlagen sind spätestens bis zu dem unter IV 3.4 genannten Termin vollständig vorzulegen.
Ein evtl. Einsatz von Subunternehmern ist spätestens mit Abgabe des Angebots sowie der Eignungsunterlagen bekanntzugeben. Ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.2 geforderten Unterlagen nachzuweisen. Der Anteil am Leistungsumfang ist dazulegen. Ferner ist vom Unterauftragnehmer rechtsverbindlich zu bestätigen, dass er im Auftragsfall uneingeschränkt zur Verfügung steht.
Mehr anzeigen

Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Objektive Auswahlkriterien: Gemäß Eignungskriterien.
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Carla Lönz
Internetadresse: www.fraunhofer.de 🌏
Name: Fraunhofer Gesellschaft
Postanschrift: nur elektronisch
Kontaktperson: BM 066/224062/CL
Frau Lönz
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧

Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: BM 066/224062/CL

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I 1 genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. § 101a GWB informiert.
Mehr anzeigen
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstr. 2
Postleitzahl: 53175
Quelle: OJS 2012/S 143-239118 (2012-07-24)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2013-01-07)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer-Gesellschaft e. V.
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de/ 🌏
Telefon: +49 8912053229 📞
Fax: +49 8912057548 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-01-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-01-10 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 007-006926
Verweist auf Bekanntmachung: 2012/S 143-239118
ABl. S-Ausgabe: 7

Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: BM066/224062/cl

Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Preis (35)
2. Technische Ausführung (60)
3. Folgekosten, Service und Support (5)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2012-12-17 📅
Name: Oxford Instruments GmbH Plasma Technology
Postanschrift: Postfach 4509
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65035
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Str. 16
Postleitzahl: 53175
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I 1 genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §107 Abs. 3 Satz1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. §101a GWB informiert.
Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2013/S 007-006926 (2013-01-07)
Neue Beschaffungen in verwandten Kategorien 🆕
Verwandte Suchen 🔍
Region:
Deutschland Thüringen Thüringen Jena, Kreisfreie Stadt