System zur Ausheilung und Aktivierung bis 1 900°C von Implantationen auf dem Halbleitermaterial SiC
Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Im Bereich Forschung und Entwicklung von leistungselektronischen Bauelementen, der Sensor und MEMS Technologie auf dem Halbleitermaterial Siliciumcarbid (SiC) ist ein Heizschritt bis 1 900°C zum Ausheilen von Implantationsschäden und zur Aktivierung der Dotierstoffe unabdingbar. Da in SiC nahezu keine Diffusion auftritt, ist eine selektive Dotierung von Bauelementen auf SiC fast nur durch Implantation möglich. Aber erst ab Temperaturen weit über 1 700°C wird eine vollständige Aktivierung der Dotierstoffe, vor allem des Dotierstoffs Aluminium erreicht.
Für unsere Anwendungen benötigen wir daher ein Annealingsystem zum Ausheilen in Argon-Atmosphäre von mindestens 5 Stück Siliciumcarbidscheiben mit Durchmessern bis 150 mm. Da wir vor allem in der Forschung tätig sind, müssen ziemlich unterschiedliche Temperaturrezepte in ein und demselben System gefahren werden. Daher ist eine hohe Flexibilität gefordert.
Ein weiterer bedeutender Faktor, besonders in der Forschung, ist die Flexibilität beim Handling von Siliciumscheiben unterschiedlicher Durchmesser. So sollen kleinere Stücke oder Scheiben von 3“ bis 150 mm prozessiert werden können. Deshalb soll ein einfacher und schneller Tausch der Boote möglich sein. Scheibendurchsatz ist dagegen nicht von übergeordneter Bedeutung. Handbeladung ist daher ausreichend.
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2012-11-02. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2012-10-02.
Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2012-10-02 | Auftragsbekanntmachung |
Auftragsbekanntmachung (2012-10-02)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Gewerbliche Öfen
Menge oder Umfang: 1. Stück.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Gewerbliche Öfen 📦
Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 8912053229 📞
Fax: +49 8912057547 📠
Referenz
Daten
Absendedatum: 2012-10-02 📅
Einreichungsfrist: 2012-11-02 📅
Veröffentlichungsdatum: 2012-10-06 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2012/S 193-317454
ABl. S-Ausgabe: 193
Zusätzliche Informationen
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Es werden Varianten akzeptiert ✅
Dauer: 6 Monate
Referenznummer: BM 879/211461/cl-gbe
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Erlangen.
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: — Firmenprofil.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Technische und berufliche Fähigkeiten: — komplette Referenzen von vergleichbaren Anlagen, nicht älter als 3 Jahre.
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Siehe Verdingungsunterlagen.
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Selbstschuldnerisch haftend mit bevollmächtigten Vertreter.
Sonstige besondere Bedingungen:
Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Objektive Auswahlkriterien: Gemäß Eignungskriterien.
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Carla Lönz
Internetadresse: www.fraunhofer.de 🌏
Name: Fraunhofer-Gesellschaft e.V.
Kontaktperson: BM 879/211461/cl-gbe
Frau Lönz
Telefon: +49 891205346 📞
Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: BM 879/211461/cl-gbe
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes bei Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF, Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstraße 2
Postleitzahl: 53175
Quelle: OJS 2012/S 193-317454 (2012-10-02)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Gewerbliche Öfen
Menge oder Umfang: 1. Stück.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Gewerbliche Öfen 📦
Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 8912053229 📞
Fax: +49 8912057547 📠
Referenz
Daten
Absendedatum: 2012-10-02 📅
Einreichungsfrist: 2012-11-02 📅
Veröffentlichungsdatum: 2012-10-06 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2012/S 193-317454
ABl. S-Ausgabe: 193
Zusätzliche Informationen
Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§§ 19, 22 EG).
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Im Bereich Forschung und Entwicklung von leistungselektronischen Bauelementen, der Sensor und MEMS Technologie auf dem Halbleitermaterial Siliciumcarbid (SiC) ist ein Heizschritt bis 1 900°C zum Ausheilen von Implantationsschäden und zur Aktivierung der Dotierstoffe unabdingbar. Da in SiC nahezu keine Diffusion auftritt, ist eine selektive Dotierung von Bauelementen auf SiC fast nur durch Implantation möglich. Aber erst ab Temperaturen weit über 1 700°C wird eine vollständige Aktivierung der Dotierstoffe, vor allem des Dotierstoffs Aluminium erreicht.
Mehr anzeigen
Für unsere Anwendungen benötigen wir daher ein Annealingsystem zum Ausheilen in Argon-Atmosphäre von mindestens 5 Stück Siliciumcarbidscheiben mit Durchmessern bis 150 mm. Da wir vor allem in der Forschung tätig sind, müssen ziemlich unterschiedliche Temperaturrezepte in ein und demselben System gefahren werden. Daher ist eine hohe Flexibilität gefordert.
Mehr anzeigen
Ein weiterer bedeutender Faktor, besonders in der Forschung, ist die Flexibilität beim Handling von Siliciumscheiben unterschiedlicher Durchmesser. So sollen kleinere Stücke oder Scheiben von 3“ bis 150 mm prozessiert werden können. Deshalb soll ein einfacher und schneller Tausch der Boote möglich sein. Scheibendurchsatz ist dagegen nicht von übergeordneter Bedeutung. Handbeladung ist daher ausreichend.
Mehr anzeigen
Dauer: 6 Monate
Referenznummer: BM 879/211461/cl-gbe
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Erlangen.
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: — Firmenprofil.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
— Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre,
— Eigenerklärung über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Abgaben sowie Beiträge zur gesetzlichen Sozialversicherung,
— Eigenerklärung, dass weder ein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde noch das sich das Unternehmen in Liquidation befindet,
— Eigenerklärung, dass nachweislich keine schweren Verfehlungen begangen wurden, die Zuverlässigkeit als Bewerber in Frage stellen.
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Siehe Verdingungsunterlagen.
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Selbstschuldnerisch haftend mit bevollmächtigten Vertreter.
Sonstige besondere Bedingungen:
Die unter III.2 geforderten Unterlagen sind bis spätestens zu dem unter IV 3.4 genannten Termin vollständig vorzulegen. Unvollständigkeit kann zum Ausschluss führen. Bitte senden Sie die Unterlagen per E-Mail an einkauf@zv.fraunhofer.de. Bitte vermerken Sie die Bezugsnummer BM 879/211461-cl-gbe in der Betreffzeile.
Mehr anzeigen
Verfahren
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Objektive Auswahlkriterien: Gemäß Eignungskriterien.
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Kontaktperson: Carla Lönz
Internetadresse: www.fraunhofer.de 🌏
Name: Fraunhofer-Gesellschaft e.V.
Kontaktperson: BM 879/211461/cl-gbe
Frau Lönz
Telefon: +49 891205346 📞
Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: BM 879/211461/cl-gbe
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes bei Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF, Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I 1 genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des § 107 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. § 101a GWB informiert.
Mehr anzeigen
Postanschrift: Heinemannstraße 2
Postleitzahl: 53175
Quelle: OJS 2012/S 193-317454 (2012-10-02)
Neue Beschaffungen in verwandten Kategorien 🆕