System zur Ausheilung und Aktivierung bis 1 900°C von Implantationen auf dem Halbleitermaterial SiC

Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Im Bereich Forschung und Entwicklung von leistungselektronischen Bauelementen, der Sensor und MEMS Technologie auf dem Halbleitermaterial Siliciumcarbid (SiC) ist ein Heizschritt bis 1 900°C zum Ausheilen von Implantationsschäden und zur Aktivierung der Dotierstoffe unabdingbar. Da in SiC nahezu keine Diffusion auftritt, ist eine selektive Dotierung von Bauelementen auf SiC fast nur durch Implantation möglich. Aber erst ab Temperaturen weit über 1 700°C wird eine vollständige Aktivierung der Dotierstoffe, vor allem des Dotierstoffs Aluminium erreicht.
Für unsere Anwendungen benötigen wir daher ein Annealingsystem zum Ausheilen in Argon-Atmosphäre von mindestens 5 Stück Siliciumcarbidscheiben mit Durchmessern bis 150 mm. Da wir vor allem in der Forschung tätig sind, müssen ziemlich unterschiedliche Temperaturrezepte in ein und demselben System gefahren werden. Daher ist eine hohe Flexibilität gefordert.
Ein weiterer bedeutender Faktor, besonders in der Forschung, ist die Flexibilität beim Handling von Siliciumscheiben unterschiedlicher Durchmesser. So sollen kleinere Stücke oder Scheiben von 3“ bis 150 mm prozessiert werden können. Deshalb soll ein einfacher und schneller Tausch der Boote möglich sein. Scheibendurchsatz ist dagegen nicht von übergeordneter Bedeutung. Handbeladung ist daher ausreichend.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2012-11-02. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2012-10-02.

Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2012-10-02 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2012-10-02)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Gewerbliche Öfen
Menge oder Umfang:
“1. Stück.”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Gewerbliche Öfen 📦

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 8912053229 📞
Fax: +49 8912057547 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2012-10-02 📅
Einreichungsfrist: 2012-11-02 📅
Veröffentlichungsdatum: 2012-10-06 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2012/S 193-317454
ABl. S-Ausgabe: 193
Zusätzliche Informationen

“Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§§ 19, 22 EG).”
Quelle: OJS 2012/S 193-317454 (2012-10-02)
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