5 Nasschemiebänke und 2 Halbautomaten

Fraunhofer Gesellschaft e. V.

5 Nasschemiebänke und 2 Halbautomaten.
Fraunhofer plant für die Ausstattung eines neuen MEMS-Reinraumes die Beschaffung von 5 manuellen Nasschemiebänken sowie 2 halbautomatischen Nasschemieanlagen (im Weiteren kurz als Halbautomaten bezeichnet):
— Nasschemiebank 1 (6QF504): Ätzbank für anisotropes Silizium-Ätzen,
— Nasschemiebank 2 (6QF505): Ätzbank für anisotropes Silizium-Ätzen,
— Nasschemiebank 3 (6QF507): Reinigungsbank, Ätzbank für Siliziumnitrid-Ätzen,
— Nasschemiebank 4 (6QF508): Ätzbank für Metall-Ätzen,
— Nasschemiebank 5 (6QF514): Ätzbank für Metall-Ätzen,
— Halbautomat 1 (6QF501): Ätzbank für Siliziumoxid- und Glas-Ätzen,
— Halbautomat 2 (6QF510): Lösemittelbank für Lackentfernung, Metall-Lift-Off.
Nasschemiebänke und Halbautomaten sind für die manuelle bzw. semiautomatische Bearbeitung von 200 mm Substraten in Losen von bis zu 25 Wafern in Highprofile-Tefloncarriern gemäß SEMI-Standard auszulegen. Sie müssen den aktuellen Normen und Vorschriften genügen, dem aktuellen Stand der Technik entsprechen und alle gültigen sicherheitsspezifischen Anforderungen sowie die Anforderungen der Reinraumklasse ISO 4 erfüllen.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-12-19. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-11-04.

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft e. V.

Wie?

• • Gedruckte Schaltungen › Halbleiter

Wo?

• • Hamburg › Hamburg